¡ß Ellipsometer (Ÿ¿øÆò±¤Çؼ®)
Ÿ¿øÆò±¤ÀÇ Çؼ®Àº ÀÀ¿ë ¹Ú¸·±¤ÇÐÀ¸·Î È®¸³µÇ¾úÀ¸³ª, ±× ÈÄ ³í¸®Çؼ®ÀÌ º¹ÀâÇؼ ¼÷·ÃµÈ ¼Ò¼öÀÇ Àü¹®°¡ ¹Û¿¡´Â ÀÌ¿ë ÇÒ ¼ö ¾ø¾ú´Ù. ±×·¯³ª ¸¶ÀÌÅ©·ÎÄÄÇ»ÅÍ¿¡ ÀÇÇÑ ÃøÁ¤°ú °è»êÀ» ÀÚµ¿ÀûÀ¸·Î ÇÏ´Â ÃøÁ¤±â°¡ ½ÃÆǵǾî ÇöÀç´Â ³Î¸® »ç¿ëµÇ°í ÀÖ´Ù.
Åõ¸íÇÑ ¹Ú¸·°ú±âÆÇÀÇ °æ°è¸é¿¡ ¹Ý»çÇÏ´Â ±¤ÀÇ ¹Ý»çÀ²°ú Æí±¤°¢À» ÃøÁ¤ÇÔÀ¸·Î½á, ¸·ÀÇ ±¼ÀýÀ²°ú ±¤ÇÐÀû µÎ²²¸¦ µ¿½Ã¿¡ ±¸ÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù. ±âÆÇÀç·áÀÇ ±¼Àý·üÀ» ¾Ë°í ÀÖÁö ¾ÊÀ¸¸é ¾È µÈ´Ù.
ÃøÁ¤ÇÏ´Â °ÍÀº ±âÆÇ¿¡ ÀÔ»çÇÏ´Â ±¤ÀÇ ÀÔ»ç¸é ³»ÀÇ Æí±¤Æø t¹Ý»çÀ²°ú ÀÔ»ç ¼öÄ¡¸é ³»ÀÇ ÁøÆø ¹Ý»çÀ²ÀÇ ºñ tan¥× Æí±¤°¢µµÀÇ À§»óÂ÷ ¡âÀÌ´Ù. À̰͵éÀÇ °ª°ú ±¼Àý·ü n ±¤ÇÐÀû ¸·µÎ²² d¿ÍÀÇ °ü°è½ÄÀº Á¦¹ý º¹ÀâÇÏ°í ´õ±¸³ª ´Ù¾çÇÑ º¯¼ö°¡ Àֱ⠶§¹®¿¡ ¿©±â¿¡¼´Â »ý·«ÇÑ´Ù.
ÃøÁ¤ Á¤¹Ðµµ´Â ±¤ÇÐÀû ¸·µÎ²²¿¡ ´Ù¶ó ´Ù¸£´Ù. ¸·µÎ²²°¡ Ŭ ¶§¿¡´Â ÄÄÇ»ÅÍÀÇ Ç¥½Ã °ªÀº 1Â÷ÀÇ °ªÀ¸·Î¸¸ Ç¥½ÃµÈ´Ù.
¡ß EllipsometerÀÇ ¿ø¸®
¿ì¼±, ellipsometry °¢ (¥Ä, ¥×)¿¡ ´ëÇØ ¾Ë¾Æº¸ÀÚ¸é, Æí±¤¹æÇâÀÌ ÀÔ»ç¸é¿¡ ³õÀÎ p-ÆÄ¿Í ÀÔ»ç¸é°ú ¼öÁ÷ÀÎ s-ÆÄ¿¡ ´ëÇÑ ¹Ý»ç°è¼ö(rp, rs)·ÎºÎÅÍ ellipsometry ÃøÁ¤°ª¡¦(»ý·«)
|