¿Ã·¹Æ÷Æ® : ´ëÇз¹Æ÷Æ®, Á·º¸, ½ÇÇè°úÁ¦, ½Ç½ÀÀÏÁö, ±â¾÷ºÐ¼®, »ç¾÷°èȹ¼­, Çо÷°èȹ¼­, ÀÚ±â¼Ò°³¼­, ¸éÁ¢, ¹æ¼ÛÅë½Å´ëÇÐ, ½ÃÇè ÀÚ·á½Ç
¿Ã·¹Æ÷Æ® : ´ëÇз¹Æ÷Æ®, Á·º¸, ½ÇÇè°úÁ¦, ½Ç½ÀÀÏÁö, ±â¾÷ºÐ¼®, »ç¾÷°èȹ¼­, Çо÷°èȹ¼­, ÀÚ±â¼Ò°³¼­, ¸éÁ¢, ¹æ¼ÛÅë½Å´ëÇÐ, ½ÃÇè ÀÚ·á½Ç
·Î±×ÀΠ ȸ¿ø°¡ÀÔ

ÆÄÆ®³Ê½º

ÀÚ·áµî·Ï
 

Àå¹Ù±¸´Ï

´Ù½Ã¹Þ±â

ÄÚÀÎÃæÀü

¢¸
  • SKÇÏÀ̴нº °æ·ÂÁ÷ ÇÕ°Ý ÀÚ±â¼Ò°³¼­   (1 ÆäÀÌÁö)
    1

  • SKÇÏÀ̴нº °æ·ÂÁ÷ ÇÕ°Ý ÀÚ±â¼Ò°³¼­   (2 ÆäÀÌÁö)
    2

  • SKÇÏÀ̴нº °æ·ÂÁ÷ ÇÕ°Ý ÀÚ±â¼Ò°³¼­   (3 ÆäÀÌÁö)
    3

  • SKÇÏÀ̴нº °æ·ÂÁ÷ ÇÕ°Ý ÀÚ±â¼Ò°³¼­   (4 ÆäÀÌÁö)
    4

  • SKÇÏÀ̴нº °æ·ÂÁ÷ ÇÕ°Ý ÀÚ±â¼Ò°³¼­   (5 ÆäÀÌÁö)
    5


  • º» ¹®¼­ÀÇ
    ¹Ì¸®º¸±â´Â
    5 Pg ±îÁö¸¸
    °¡´ÉÇÕ´Ï´Ù.
¢º
Ŭ¸¯ : Å©°Ôº¸±â
  • SKÇÏÀ̴нº °æ·ÂÁ÷ ÇÕ°Ý ÀÚ±â¼Ò°³¼­   (1 ÆäÀÌÁö)
    1

  • SKÇÏÀ̴нº °æ·ÂÁ÷ ÇÕ°Ý ÀÚ±â¼Ò°³¼­   (2 ÆäÀÌÁö)
    2

  • SKÇÏÀ̴нº °æ·ÂÁ÷ ÇÕ°Ý ÀÚ±â¼Ò°³¼­   (3 ÆäÀÌÁö)
    3

  • SKÇÏÀ̴нº °æ·ÂÁ÷ ÇÕ°Ý ÀÚ±â¼Ò°³¼­   (4 ÆäÀÌÁö)
    4

  • SKÇÏÀ̴нº °æ·ÂÁ÷ ÇÕ°Ý ÀÚ±â¼Ò°³¼­   (5 ÆäÀÌÁö)
    5



  • º» ¹®¼­ÀÇ
    (Å« À̹ÌÁö)
    ¹Ì¸®º¸±â´Â
    5 Page ±îÁö¸¸
    °¡´ÉÇÕ´Ï´Ù.
  ´õºíŬ¸¯ : ´Ý±â
X ´Ý±â
Á¿ìÀ̵¿ : µå·¡±×

SKÇÏÀ̴нº °æ·ÂÁ÷ ÇÕ°Ý ÀÚ±â¼Ò°³¼­

ÀÎ ¼â
¹Ù·Î°¡±â
Áñ°Üã±â Űº¸µå¸¦ ´­·¯ÁÖ¼¼¿ä
( Ctrl + D )
¸µÅ©º¹»ç ¸µÅ©ÁÖ¼Ò°¡ º¹»ç µÇ¾ú½À´Ï´Ù.
¿øÇÏ´Â °÷¿¡ ºÙÇô³Ö±â Çϼ¼¿ä
( Ctrl + V )
¿ÜºÎ°øÀ¯
ÆÄÀÏ  SKÇÏÀ̴нº °æ·ÂÁ÷ ÇÕ°Ý ÀÚ±â¼Ò°³¼­ (2) .hwp   [Size : 2 Mbyte ]
ºÐ·®   5 Page
°¡°Ý  3,000 ¿ø


īƮ
´Ù¿î¹Þ±â
īī¿À ID·Î
´Ù¿î ¹Þ±â
±¸±Û ID·Î
´Ù¿î ¹Þ±â
ÆäÀ̽ººÏ ID·Î
´Ù¿î ¹Þ±â
µÚ·Î

¸ñÂ÷/Â÷·Ê

1. Áö¿øµ¿±â ¹× ÇâÈÄ °èȹ, Àü Á÷Àå Åð»ç µ¿±â

2. °æ·Â±â¼ú¼­

3. ÀÔ»ç °¡´É ½Ã±â ¹× ±âŸ»çÇ×

º»¹®/³»¿ë
1. Áö¿øµ¿±â ¹× ÇâÈÄ °èȹ, Àü Á÷Àå Åð»ç µ¿±â

¡°º¯È­´Â ¸Ö¸®¼­ ¿ÀÁö ¾Ê¾Ò½À´Ï´Ù. ¹Ù·Î ÇöÀå ¾È¿¡¼­ ½ÃÀ۵ƽÀ´Ï´Ù¡±
¹ÝµµÃ¼ »ê¾÷ÀÇ º¯È­´Â ¿¹°í ¾øÀÌ Ã£¾Æ¿Ô°í, Àú´Â ±× È帧À» ÇöÀå¿¡¼­ ´©±¸º¸´Ù ¸ÕÀú ü°¨ÇؿԽÀ´Ï´Ù. ÇöÀåÀÇ ÀÛÀº ÀÌ»ó Çö»ó Çϳª¿¡¼­ ½ÃÀÛÇØ, °øÁ¤ Á¶°ÇÀÇ ¹Ì¼¼ÇÑ º¯È­°¡ ¼öÀ²°ú Á÷°áµÇ´Â ¼ø°£À» ¼ö¾øÀÌ °ÞÀ¸¸é¼­, °øÁ¤ ¿£Áö´Ï¾î·Î¼­ ´Ü¼øÈ÷ ¡®¶óÀÎÀ» ÁöŲ´Ù¡¯´Â ÀÚ¼¼¸¸À¸·Î´Â »ýÁ¸ÇÒ ¼ö ¾ø´Ù´Â »ç½ÇÀ» Àý½ÇÇÏ°Ô ´À²¼½À´Ï´Ù. ±×·¡¼­ ´õ ºü¸£°Ô, ´õ ¹Î°¨ÇÏ°Ô º¯È­¿¡ ¹ÝÀÀÇÏ¸ç ±â¼úÀû °¨°¢°ú ÆÇ´Ü·ÂÀ» ½×¾Æ¿Ô°í, ÀÌÁ¦´Â ±× °æÇèµéÀ» ´õ ³ÐÀº ±â¼ú ¿µ¿ª°ú µµÀüÀûÀÎ °úÁ¦¿¡ Àû¿ëÇϰíÀÚ SKÇÏÀ̴нº¸¦ ¼±ÅÃÇÏ°Ô µÇ¾ú½À´Ï´Ù.
Àú´Â 3D NAND °øÁ¤ ¶óÀο¡¼­ Etch ¹× Ion Implantation, Annealing °øÁ¤À» ÁÖ·ÂÀ¸·Î ¿î¿µÇÏ¸ç ¼öÀ² °³¼±, Àåºñ ÃÖÀûÈ­, ºÒ·® ºÐ¼® µî ´Ù¾çÇÑ ½Ç¹« °æÇèÀ» ½×¾Æ¿Ô½À´Ï´Ù. ƯÈ÷ Gate Etch °øÁ¤¿¡¼­ ¹ß»ýÇÑ Pattern Collapse ¹®Á¦ ÇØ°áÀ» À§ÇØ Çï·ý °¡½º ³óµµ¿Í ICP Àü·Â Á¶°ÇÀ» Á¤±³ÇÏ°Ô Á¶Á¤ÇÑ °æÇèÀÌ ±â¾ï¿¡ ³²½À´Ï´Ù. ¹Ýº¹ ½ÇÇèÀ» ÅëÇØ Á¶°Ç ¾ÈÁ¤È­¸¦ ÀÌ·ç´Â °úÁ¤Àº °£´ÜÇÏÁö ¾Ê¾ÒÁö¸¸, °øÁ¤ °£ ¿¬°ü¼ºÀ» ¼¼¹ÐÈ÷ ºÐ¼®ÇØ ¹®Á¦¸¦ ºÐÇØÇÏ¡¦(»ý·«)



ÀúÀÛ±ÇÁ¤º¸
*À§ Á¤º¸ ¹× °Ô½Ã¹° ³»¿ëÀÇ Áø½Ç¼º¿¡ ´ëÇÏ¿© ȸ»ç´Â º¸ÁõÇÏÁö ¾Æ´ÏÇϸç, ÇØ´ç Á¤º¸ ¹× °Ô½Ã¹° ÀúÀ۱ǰú ±âŸ ¹ýÀû Ã¥ÀÓÀº ÀÚ·á µî·ÏÀÚ¿¡°Ô ÀÖ½À´Ï´Ù. À§ Á¤º¸ ¹× °Ô½Ã¹° ³»¿ëÀÇ ºÒ¹ýÀû ÀÌ¿ë, ¹«´Ü ÀüÀ硤¹èÆ÷´Â ±ÝÁöµÇ¾î ÀÖ½À´Ï´Ù. ÀúÀÛ±ÇÄ§ÇØ, ¸í¿¹ÈÑ¼Õ µî ºÐÀï¿ä¼Ò ¹ß°ß½Ã °í°´¼¾ÅÍÀÇ ÀúÀÛ±ÇÄ§ÇØ½Å°í ¸¦ ÀÌ¿ëÇØ Áֽñ⠹ٶø´Ï´Ù.
📝 Regist Info
I D : choi*******
Date : 2026-01-22
FileNo : 40211095

Cart