한국나노기술원 반도체공정(정부과제) 자기소개서 와 면접자료

1. 최근 5년 동안에 귀하가 성취한 일 중 가장 자랑할 만한 것은 무엇입니까

제가 최근 5년 동안 가장 자랑스럽게 생각하는 성취는, 산학연 공동 국책과제에서 핵심 공정 모듈 개발을 주도하여 상용화 가능성을 입증한 것입니다. 해당 과제는 국내 반도체 장비와 소재의 국산화를 촉진하고, 차세대 공정 기술 자립 기반을 마련하는 것을 목표로 한 중대형 과제였습니다. 저는 이 프로젝트의 실무 담당자로 참여하여 식각 및 증착 공정의 최적화, 공정 안정성 검증, 장비 연동 실험 기획 및 데이터 기반 분석을 수행하였습니다.
특히 제가 주도한 파트는, 10nm 이하 초미세 구조에서 발생하는 식각 비균일성 문제 해결이었습니다. 공정 실험 초기에는 고등한 해상도가 필요한 나노패턴 구조에서 측벽 손상, 오버에칭, 패턴 붕괴 현상이 빈번하게 나타났습니다. 원인은 플라즈마 조건의 미세한 불균형, 장비 간 인터페이스 문제, 소재 반응성 차이에 기인한 것으로 분석되었습니다. 이 문제를 해결하기 위해 저는 실험 디자인부터 접근 방식을 완전히 바꾸기로 했습니다.
먼저 DOE(실험계획법) 기반 매트릭스 설계를 도입하여, RF 전력, 챔버 온도, 가스 조성, 공정 시간 등…(생략)