¸ñÂ÷/Â÷·Ê
1. Èļº ¿¬±¸°³¹ß Á÷¹«¿¡ Áö¿øÇÑ ÀÌÀ¯´Â ¹«¾ùÀΰ¡
2. ÈļºÀÇ ÇÙ½É ±â¼ú(ºÒ¼ÒÈÇйݵµÃ¼/2Â÷ÀüÁö ¼ÒÀç)¿¡ ´ëÇØ ÀÌÇØÇϰí ÀÖ´Â ¹Ù¸¦ ¼³¸íÇ϶ó
3. ½ÇÇè ¼³°è(DoE)¸¦ ü°èÀûÀ¸·Î ¼öÇàÇÑ °æÇèÀÌ ÀÖ´Ù¸é ¸»Çغ¸¶ó
4. °øÁ¤ °³¼± ¶Ç´Â ¼öÀ² Çâ»óÀ» À§ÇØ ¹®Á¦¸¦ ºÐ¼®Çϰí ÇØ°áÇÑ °æÇèÀÌ Àִ°¡
5. ½ÇÆÐÇÑ ½ÇÇèÀ» º¹±¸Çϰųª ¿øÀÎÀ» ÃßÀûÇÑ °æÇèÀ» ¸»Çغ¸¶ó
6. ¿¬±¸°³¹ß ¾÷¹«¿¡¼ °¡Àå Áß¿äÇÑ ¿ª·®Àº ¹«¾ùÀ̶ó°í »ý°¢Çϴ°¡
7. À§Çè¹°°¡½º°í¾Ð Àåºñ µî ¾ÈÀüÀÌ Áß¿äÇÑ ¿¬±¸ ȯ°æ¿¡¼ ¾ÈÀüÀ» ¾î¶»°Ô °ü¸®ÇؿԴ°¡
8. µ¥ÀÌÅÍ ±â¹Ý ¿¬±¸¸¦ ¼öÇàÇÑ °æÇèÀÌ ÀÖ´Ù¸é ¼³¸íÇ϶ó
9. ÆÀ ¿¬±¸ ÇÁ·ÎÁ§Æ®¿¡¼ ÀÇ°ß Ãæµ¹À» ÇØ°áÇØº» °æÇèÀÌ Àִ°¡
10. ÈļºÀÇ ¹ÝµµÃ¼ Ư¼ö°¡½º(¿¹: NF3, SiH4 µî)¿Í 2Â÷ÀüÁö ¼ÒÀç ¿¬±¸ÀÇ Â÷ÀÌÁ¡À» ¾î¶»°Ô ÀÌÇØÇϴ°¡
11. °øÁ¤ Scale-up °úÁ¤¿¡¼ °í·ÁÇØ¾ß ÇÒ Áß¿äÇÑ ¿ä¼Ò´Â ¹«¾ùÀΰ¡
12. ¿¬±¸Àڷμ ÀÚ½ÅÀÌ ±â¿©ÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ±â¼úÀû °Á¡Àº ¹«¾ùÀΰ¡
13. ÃÖ±Ù È
...
º»¹®/³»¿ë
1. Èļº ¿¬±¸°³¹ß Á÷¹«¿¡ Áö¿øÇÑ ÀÌÀ¯´Â ¹«¾ùÀΰ¡
Àú´Â ÈÇмÒÀç »ê¾÷¿¡¼ °¡Àå ³ôÀº ±â¼ú À庮À» °¡Áø ºÐ¾ß°¡ ºÒ¼Ò°è ÈÇÐÀ̶ó°í ÆÇ´ÜÇÕ´Ï´Ù. ºÒ¼Ò ÈÇÐÀº ¹ÝÀÀ¼ºÀÌ ³ô°í ´ÜÀÏ °øÁ¤ÀÇ ¾ÈÀü¼ºÁ¤¹Ðµµ¼øµµ °ü¸®°¡ ¸Å¿ì ±î´Ù·ÓÁö¸¸, ¿Ï¼ºµÈ Á¦Ç°Àº ¹ÝµµÃ¼µð½ºÇ÷¹ÀÌ2Â÷ÀüÁö¿ìÁÖÇ×°ø µî ÇÙ½É »ê¾÷¿¡¼ Àü·«Àû °¡Ä¡¸¦ °®½À´Ï´Ù. ÈļºÀº ÀÌ ºÒ¼ÒÈÇÐ ºÐ¾ß¿¡¼ ±¹³» µ¶º¸Àû ±â¾÷À¸·Î ¼ºÀåÇØ NF3, SiF4, 2Â÷ÀüÁö ÀüÇØÁú LiPF6 µî °íºÎ°¡°¡Ä¡ Á¦Ç°À» ¼¼°èÀûÀ¸·Î °ø±ÞÇϰí ÀÖ½À´Ï´Ù.
Àú´Â ´ëÇп¡¼ À¯±âÇÕ¼º¹«±âÈÇÐÃ˸ŹÝÀÀ°øÁ¤ÈÇÐ ½ÇÇèÀ» ÁøÇàÇÏ¸ç ¡°¹ÝÀÀÀ» ¼³°èÇϰí ÃÖÀûÈÇÏ´Â °úÁ¤¡±¿¡ °¡Àå Å« Áñ°Å¿òÀ» ´À²¼½À´Ï´Ù. ½ÇÇèÀ» ÅëÇØ ¿øÇÏ´Â ¹°¼ºÀ» È®º¸Çϰí, °øÁ¤ Á¶°ÇÀ» Á¶Á¤ÇÏ¸ç ¼öÀ²°ú ¾ÈÁ¤¼ºÀ» ³ôÀÌ´Â °úÁ¤À» °æÇèÇÏ¸ç ¿¬±¸°³¹ß Á÷¹«¿¡ È®½ÅÀ» °®°Ô µÇ¾ú½À´Ï´Ù.
ÈļºÀº ´Ü¼ø »ý»êÀÌ ¾Æ´Ï¶ó ¡°ÈÇÐ ¹ÝÀÀÀ» ±â¹ÝÀ¸·Î ÇÑ °øÁ¤Àç·á Çõ½Å ±â¾÷¡±À̶ó°í »ý°¢ÇÕ´Ï´Ù. ƯÈ÷ ¼¼°èÀûÀ¸·Î 2Â÷ÀüÁö ¼ÒÀç °æÀïÀÌ ½ÉȵǴ °¡¿îµ¥, °í¼øµµ LiPF6ÀüÇØÁú ÷°¡Á¦ºÒ¼Ò°è ½Å¼ÒÀç °³¹ßÀº ±¹°¡ °æÀï·Â°úµµ Á÷°áµË´Ï´Ù. Àú´Â ÀÌ·¯ÇÑ È¯°æ¿¡¼ ½ÇÇèÀû âÀǼº°ú ¹®Á¦ ÇØ°á ¿ª·®À» ±â¹ÝÀ¸·Î ¡¦(»ý·«)