본문/내용
1. 본인의 연구 경험 또는 관련 기술을 바탕으로 뉴파워프라즈마 연구 분야에 기여할 수 있는 역량에 대해 서술해 주세요.
저는 반도체 공정 실험실에서 플라즈마 처리와 박막 공정, 공정평가 분야를 집중적으로 경험하며 전문성을 키웠습니다. 학부 연구생 시절, 플라즈마 에칭 장비를 직접 운용하고, 공정 조건에 따른 미세 패턴 변화와 표면 거칠기, 전기적 특성의 변화를 체계적으로 분석한 경험이 있습니다. 연구 초기에는 장비의 기본 원리와 실험 변수에 대한 이해가 부족해 데이터 해석에 어려움을 겪기도 했지만, 다양한 실험을 반복하며 원인과 결과를 연결하는 분석적 시각을 기르게 되었습니다.
대표적인 경험은 SiO₂ 박막의 플라즈마 에칭 공정 최적화 프로젝트입니다. 당시 저는 공정 변수인 RF 파워, 가스 유량, 압력 등의 세부 조건을 변경하며, 결과로 얻어진 식각 깊이와 균일성, 표면 결함 정도를 수치로 정밀하게 기록했습니다. 특히, SEM(주사전자현미경)과 AFM(원자힘현미경)을 사용해 나노 단위의 표면 변화까지 분석함으로써, 미세한 조정이 전체 공정 품질에 미치는 영향을 심도 있게 이해할 수 있었습니다. 실험 결과 데이터가 기대와 다를 때…