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1. ¸éÁ¢Áú¹® 1: ¿øÀ;ÆÀÌÇÇ¿¡½º °øÁ¤°³¹ß Á÷¹« Áö¿ø µ¿±â
2. ¸éÁ¢Áú¹® 2: °øÁ¤°³¹ß Á÷¹«¿¡¼ °¡Àå Áß¿äÇÑ ¿ª·®Àº ¹«¾ùÀ̶ó°í »ý°¢Çϴ°¡
3. ¸éÁ¢Áú¹® 3: ALDCVD °øÁ¤ ¿ø¸®¸¦ ÀÌÇØÇÑ ¼öÁØ¿¡¼ ¼³¸íÇØº¸¶ó
4. ¸éÁ¢Áú¹® 4: °øÁ¤ Recipe °³¹ß °æÇè ¶Ç´Â ½ÇÇè ¼³°è °æÇè
5. ¸éÁ¢Áú¹® 5: °øÁ¤ º¯¼ö(¿Âµµ¾Ð·ÂÇöóÁÀ¯·® µî)¿¡ µû¶ó ¹Ú¸· Ư¼ºÀÌ ¾î¶»°Ô ´Þ¶óÁö´ÂÁö ¼³¸í
6. ¸éÁ¢Áú¹® 6: ParticleDefect ¹®Á¦¸¦ ÇØ°áÇß´ø °æÇè ¶Ç´Â Á¢±Ù ¹æ½Ä
7. ¸éÁ¢Áú¹® 7: Chamber »óÅ º¯È¸¦ ¾î¶»°Ô °ü¸®ÇÏ°í ÆÇ´ÜÇÏ´ÂÁö ¼³¸í
8. ¸éÁ¢Áú¹® 8: °øÁ¤ °³¹ß ½Ã °¡Àå ¸ÕÀú È®ÀÎÇØ¾ß ÇÏ´Â ÇÙ½É µ¥ÀÌÅÍ´Â ¹«¾ùÀΰ¡
9. ¸éÁ¢Áú¹® 9: Plasma °øÁ¤ Ư¼º¿¡ ´ëÇÑ º»ÀÎÀÇ ÀÌÇØ
10. ¸éÁ¢Áú¹® 10: °øÁ¤ ¼öÀ² Çâ»óÀ» À§ÇØ º»ÀÎÀÌ ¼öÇàÇÒ ¼ö ÀÖ´Â °³¼± Ȱµ¿
11. ¸éÁ¢Áú¹® 11: °í°´»ç(»ï¼ºSK µî) ¿ä±¸ ½ºÆåÀ» ÃæÁ·½Ã۱â À§ÇÑ Àü·«
12. ¸éÁ¢Áú¹® 12: Àåºñ°³¹ß
...
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1. ¸éÁ¢Áú¹® 1: ¿øÀ;ÆÀÌÇÇ¿¡½º °øÁ¤°³¹ß Á÷¹« Áö¿ø µ¿±â
¿øÀ;ÆÀÌÇÇ¿¡½º´Â CVDALDEtch Àü°øÁ¤ Àåºñ¿¡¼ Çѱ¹À» ´ëÇ¥ÇÏ´Â ±â¾÷À¸·Î, °í°´»çÀÇ ¹Ì¼¼°øÁ¤ Àüȯ ´Ü°è¸¶´Ù Àåºñ ¼º´É Çâ»ó°ú °øÁ¤ Æ©´× ¿ª·®ÀÌ Àý´ëÀûÀ¸·Î ¿ä±¸µË´Ï´Ù. °øÁ¤°³¹ß Á÷¹«´Â Àåºñ¿Í Àç·á¹Ú¸· Ư¼º¹ÝÀÀ ¸ÞÄ¿´ÏÁò°øÁ¤ º¯¼ö±îÁö ¸ðµç ±â¼ú ¿ä¼ÒÀÇ Á߽ɿ¡ ÀÖÀ¸¸ç, ½ÇÁ¦·Î °í°´ °øÁ¤ ¼öÀ²À» ½ÇÁúÀûÀ¸·Î °³¼±ÇÏ´Â ÇÙ½É ¿ªÇÒÀ» ´ã´çÇÕ´Ï´Ù.
Àú´Â ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤À» ´Ü¼øÈ÷ ÀÌ·ÐÀÌ ¾Æ´Ñ ¡°Àåºñ-°øÁ¤-¼ÒÀç-µ¥ÀÌÅÍ¡±°¡ °áÇÕµÈ ½Ã½ºÅÛÀ¸·Î ¹Ù¶óº¸¸ç ÇкΠ¿¬±¸¿Í ½Ã¹Ä·¹ÀÌ¼Ç ½Ç½ÀÀ» ÅëÇØ °øÁ¤ º¯¼öÀÇ »óÈ£ÀÛ¿ëÀ» ºÐ¼®ÇÏ´Â ¿ª·®À» ±æ·¶½À´Ï´Ù. ƯÈ÷ Recipe ¼³°è, ¿Âµµ¾Ð·Â°¡½º À¯·® º¯È¿¡ µû¸¥ ¹Ú¸· ±ÕÀϼº º¯È, Particle ¹ß»ý ¿øÀÎ ºÐ¼® µî °øÁ¤°³¹ßÀÇ ½ÇÁ¦ ¹®Á¦ ÇØ°á ¹æ½Ä¿¡ °ü½ÉÀ» °¡Áö°í ÁغñÇØ¿Ô½À´Ï´Ù.
¿øÀ;ÆÀÌÇÇ¿¡½º´Â °øÁ¤°³¹ß ¿£Áö´Ï¾î°¡ Àåºñ °³¹ß°ú Á÷Á¢ Çù¾÷ÇÏ¸ç ±â¼úÀÇ ±íÀ̸¦ È®ÀåÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ±â¾÷À̱⿡, Á¦ ¿ª·®À» °¡Àå ºü¸£°Ô ¼ºÀå½Ãų ÃÖÀûÀÇ È¯°æÀ̶ó ÆÇ´ÜÇØ Áö¿øÇß½À´Ï´Ù.
2. ¸éÁ¢Áú¹® 2: °øÁ¤°³¹ß Á÷¹«¿¡¼ °¡Àå Áß¿äÇÑ ¿ª·®Àº ¹«¾ùÀ̶ó°í »ý°¢Çϴ°¡
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