¸ñÂ÷/Â÷·Ê
1. ¼¼¸Þ½º¸¦ Áö¿øÇÑ ÀÌÀ¯¿Í ÀÔ»ç ÈÄ È¸»ç¿¡¼ ÀÌ·ç°í ½ÍÀº ²ÞÀ» ±â¼ú ÇϽʽÿÀ. (700ÀÚ)
2. º»ÀÎÀÇ ¼ºÀå°úÁ¤À» °£·«È÷ ±â¼úÇϵÇ, ÇöÀçÀÇ Àڽſ¡°Ô °¡Àå Å« ¿µÇâÀ» ³¢Ä£ »ç°Ç, Àι° µîÀ» Æ÷ÇÔÇÏ¿© ±â¼úÇϽñ⠹ٶø´Ï´Ù. (1000ÀÚ)
3. Çо÷ ÀÌ¿Ü È°µ¿ Áß °¡Àå ÀÇ¹Ì ÀÖ¾ú´ø Ȱµ¿°ú ±×°ÍÀÌ ¿Ö °¡Àå Àǹ̰¡ ÀÖ¾ú´ø Ȱµ¿ÀÎÁö ÀÌÀ¯¿¡ ´ëÇØ ±â¼úÇØ Áֽñ⠹ٶø´Ï´Ù. (700ÀÚ)
4. ¹ÝµµÃ¼/µð½ºÇ÷¹ÀÌ Àåºñ»ê¾÷¿¡ ´ëÇÏ¿© ¾î¶»°Ô ÀÌÇØÇϰí ÀÖÀ¸¸ç, Áö¿øÇÑ Á÷¹« °ü·Ã º»ÀÎÀÌ °®°í ÀÖ´Â Àü¹®Áö½Ä/°æÇèÀ» ÀÛ¼ºÇϰí, À̸¦ ¹ÙÅÁÀ¸·Î º»ÀÎÀÌ Áö¿ø Á÷¹«¿¡ ÀûÇÕÇÑ »çÀ¯¸¦ ±¸Ã¼ÀûÀ¸·Î ¼¼úÇØ Áֽñ⠹ٶø´Ï´Ù. (1000ÀÚ)
5. ¸éÁ¢ ¿¹»ó Áú¹® ¹× ´äº¯
1) ¼¼¸Þ½º °øÁ¤°³¹ß Á÷¹«¿¡ Áö¿øÇÑ ±¸Ã¼ÀûÀÎ ÀÌÀ¯´Â ¹«¾ùÀΰ¡¿ä
2) °øÁ¤°³¹ß °úÁ¤¿¡¼ °¡Àå Áß¿äÇÏ´Ù°í »ý°¢ÇÏ´Â ¿ª·®Àº ¹«¾ùÀΰ¡¿ä
3) ¹ÝµµÃ¼ Àåºñ »ê¾÷ÀÇ ±â¼ú Æ®·»µå Áß ÁÖ¸ñÇϰí ÀÖ´Â °ÍÀº ¹«¾ùÀΰ¡
...
º»¹®/³»¿ë
1. ¼¼¸Þ½º¸¦ Áö¿øÇÑ ÀÌÀ¯¿Í ÀÔ»ç ÈÄ È¸»ç¿¡¼ ÀÌ·ç°í ½ÍÀº ²ÞÀ» ±â¼ú ÇϽʽÿÀ. (700ÀÚ)
¼¼¸Þ½º´Â ¡®±â¼ú·Î ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶ÀÇ ¹Ì·¡¸¦ ¼³°èÇÏ´Â ±â¾÷¡¯À̶ó´Â Á¡¿¡¼ ÀúÀÇ Áø·Î ¸ñÇ¥¿Í °¡Àå Àß ¸Â½À´Ï´Ù. °øÁ¤°³¹ßÀº ´Ü¼øÇÑ ±â¼ú ½ÇÇèÀÌ ¾Æ´Ï¶ó, ¹ÝµµÃ¼ ǰÁú°ú »ý»ê È¿À²À» µ¿½Ã¿¡ °áÁ¤Áþ´Â ÇÙ½É ¾÷¹«ÀÔ´Ï´Ù. Àú´Â °øÁ¤ ÃÖÀûȸ¦ ÅëÇØ ºÒ·®·üÀ» ÃÖ¼ÒÈÇÏ°í »ý»ê¼ºÀ» ³ôÀÌ´Â ¿¬±¸¸¦ ¼öÇàÇÏ°í ½Í½À´Ï´Ù.
´ëÇÐ ½ÃÀý ¹ÝµµÃ¼°øÁ¤ ½ÇÇè½Ç¿¡¼ ÁõÂø ¹× ½Ä°¢ ÀåºñÀÇ °øÁ¤ º¯¼ö¸¦ Á¶ÀýÇÏ¸ç ½ÇÇèÀ» ¼öÇàÇÑ °æÇèÀÌ ÀÖ½À´Ï´Ù. ƯÈ÷ CVD °øÁ¤¿¡¼ ¿Âµµ, ¾Ð·Â, °¡½º À¯·®¿¡ µû¶ó ÁõÂø ±ÕÀϵµ°¡ ´Þ¶óÁö´Â Çö»óÀ» °üÂûÇÏ¸ç ¡®°øÁ¤ Á¦¾î¡¯ÀÇ Á߿伺À» ü°¨Çß½À´Ï´Ù. ÀÌÈÄ À̸¦ °³¼±Çϱâ À§ÇØ DOE(Design of Experiments) ±â¹ýÀ» Àû¿ëÇØ ÃÖÀûÀÇ Á¶°ÇÀ» µµÃâÇß°í, Ç¥¸é ºÒ±ÕÀϵµ¸¦ 15%¿¡¼ 5%·Î ÁÙÀÌ´Â ¼º°ú¸¦ ³Â½À´Ï´Ù.
ÀÔ»ç ÈÄ¿¡´Â ¹ÝµµÃ¼ ÀåºñÀÇ ÀÚµ¿È¿Í ÀΰøÁö´É ±â¹Ý °øÁ¤Á¦¾î ±â¼úÀ» ¿¬±¸ÇÏ°í ½Í½À´Ï´Ù. ƯÈ÷ AI µ¥ÀÌÅÍ ºÐ¼®À» ÅëÇØ °øÁ¤ ÀÌ»óÀ» »çÀü¿¡ °¨ÁöÇϰí Àåºñ È¿À²À» ±Ø´ëÈÇÏ´Â ¡®½º¸¶Æ® °øÁ¤ ½Ã½ºÅÛ¡¯ ±¸Ãà¿¡ ±â¿©ÇÏ°í ½Í½À´Ï´Ù. Àå±âÀûÀ¸·Î´Â ¼¼¸Þ½ºÀÇ ±Û·Î¹ú °æÀï·Â¡¦(»ý·«)