¸ñÂ÷/Â÷·Ê
1. º»ÀÎÀÇ ÇзÂ, Àü°ø, °ü·Ã °æÇè¿¡ ´ëÇØ ±¸Ã¼ÀûÀ¸·Î ±â¼úÇϰí, ÇØ´ç °æÇèÀÌ DBÇÏÀÌÅØ_Foundry_R&D_ESD ¼ÒÀÚ°³¹ß ¾÷¹«¿¡ ¾î¶»°Ô ±â¿©ÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù°í »ý°¢ÇÏ´ÂÁö ¼³¸íÇØÁÖ¼¼¿ä.
2. ÀÌÀü ÇÁ·ÎÁ§Æ® ¶Ç´Â ¿¬±¸ Ȱµ¿ Áß¿¡¼ ESD ¶Ç´Â ¼ÒÀÚ°³¹ß°ú °ü·ÃµÈ »ç·Ê¸¦ µé°í, ±× °úÁ¤¿¡¼ º»ÀÎÀÌ ¸Ã¾Ò´ø ¿ªÇÒ°ú ¼º°ú¸¦ »ó¼¼È÷ ¼¼úÇØÁÖ¼¼¿ä.
3. ¹®Á¦ ÇØ°á °úÁ¤¿¡¼ º»ÀÎÀÌ Á÷¸éÇß´ø ¾î·Á¿ò°ú À̸¦ ±Øº¹Çϱâ À§ÇØ »ç¿ëÇÑ ¹æ¹ý ¶Ç´Â Àü·«À» ±¸Ã¼ÀûÀ¸·Î ±â¼úÇØÁÖ¼¼¿ä.
4. ¾ÕÀ¸·Î DBÇÏÀÌÅØ_Foundry R&D ºÎ¹®¿¡¼ º»ÀÎÀÌ ÀÌ·ç°í ½ÍÀº ¸ñÇ¥¿Í À̸¦ ´Þ¼ºÇϱâ À§ÇØ ¾î¶² ³ë·ÂÀ» ÇÒ °èȹÀÎÁö ¼³¸íÇØÁÖ¼¼¿ä.
5. ¸éÁ¢ ±âÃâ Áú¹® ¹× ¸ð¹ü´ä¾È
º»¹®/³»¿ë
1. º»ÀÎÀÇ ÇзÂ, Àü°ø, °ü·Ã °æÇè¿¡ ´ëÇØ ±¸Ã¼ÀûÀ¸·Î ±â¼úÇϰí, ÇØ´ç °æÇèÀÌ DBÇÏÀÌÅØ_Foundry_R&D_ESD ¼ÒÀÚ°³¹ß ¾÷¹«¿¡ ¾î¶»°Ô ±â¿©ÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù°í »ý°¢ÇÏ´ÂÁö ¼³¸íÇØÁÖ¼¼¿ä.
Àú´Â ÀüÀÚ°øÇÐÀ» Àü°øÇÏ¸ç ¹ÝµµÃ¼ ¼ÒÀÚ ±¸Á¶¿Í °øÁ¤, ±×¸®°í ESD º¸È£ ȸ·Î ¼³°è¿¡ ±íÀº °ü½ÉÀ» °¡Áö°í Çо÷°ú ¿¬±¸¸¦ À̾î¿Ô½À´Ï´Ù. ƯÈ÷ ¹ÝµµÃ¼ ¼ÒÀÚ ½Å·Ú¼º ºÐ¾ßÀÇ ½ÇÇè°ú ½Ã¹Ä·¹ÀÌ¼Ç °æÇèÀ» ÅëÇØ, Àü±âÀû ½ºÆ®·¹½º ÇÏ¿¡¼ µð¹ÙÀ̽ºÀÇ ¿ÀûÀüÇÏÀû °Åµ¿À» ºÐ¼®ÇÏ´Â ´É·ÂÀ» Ű¿ü½À´Ï´Ù.
3Çг⠶§ ¼ö°ÇÑ ¹ÝµµÃ¼¼ÒÀÚ¿Í ÁýÀûȸ·Î ¼³°è °ú¸ñ¿¡¼ óÀ½ ESD Çö»óÀ» Á¢Çß½À´Ï´Ù. ´ç½Ã MOSFETÀÇ °ÔÀÌÆ® »êȸ·ÀÌ Á¤Àü±â ¹æÀüÀ¸·Î ÆÄ±«µÇ´Â ½ÇÇèÀ» ÁøÇàÇߴµ¥, ´Ü ¸î ÃÊÀÇ ¼ø°£ÀûÀÎ Àü¾ÐÀÌ µð¹ÙÀ̽º Àüü¸¦ ¼Õ»ó½Ãų ¼ö ÀÖ´Ù´Â Á¡ÀÌ ÀλóÀûÀ̾ú½À´Ï´Ù. ±× ÀÌÈÄ ¼ÒÀÚ º¸È£ ±¸Á¶¿¡ ´ëÇÑ È£±â½ÉÀÌ Ä¿Á®, ÇкΠ¿¬±¸»ýÀ¸·Î Âü¿©ÇÏ¸ç ½ÇÁ¦ ESD º¸È£ ȸ·Î¸¦ ¼³°èÇϰí ÃøÁ¤ÇÏ´Â ÇÁ·ÎÁ§Æ®¸¦ ¼öÇàÇß½À´Ï´Ù.
¿¬±¸½Ç¿¡¼ ¸Ã¾Ò´ø ¿ªÇÒÀº NMOS ±â¹ÝÀÇ ESD Clamp ¼ÒÀÚ Æ¯¼ºÀ» ½Ã¹Ä·¹À̼ÇÇϰí, ½ÇÃø µ¥ÀÌÅÍ¿Í ºñ±³ÇÏ´Â ÀÏÀ̾ú½À´Ï´Ù. TCAD(Synopsys Sentaurus)¸¦ »ç¿ëÇØ ¼ÒÀÚ ±¸Á¶¸¦ ¸ðµ¨¸µÇϰí, Gate ±æÀÌBody µµÇÎ ³óµµ¡¦(»ý·«)