¸ñÂ÷/Â÷·Ê
1. DBÇÏÀÌÅØÀÇ ÀÎÀç»ó Áß º»Àο¡°Ô °¡Àå ¾î¿ï¸®´Â ÀÎÀç»óÀ» °í¸£°í, ÇØ´ç ÀÎÀç»óÀ» ÅëÇØ ¼ºÃë°¨À» ´À²¼´ø °æÇèÀ» ±â¼úÇϽʽÿÀ.
2. Áö¿øÇÑ Á÷¹«¿¡ ÇÊ¿äÇÑ ¿ª·® Áß º»ÀÎÀÌ °¡Áø °Á¡À» ±â¼úÇϰí, ±× °Á¡À» À¯Áö ¶Ç´Â Çâ»ó½Ã۱â À§ÇØ ¾î¶² °ÍµéÀ» Çß´ÂÁö ¼³¸íÇϽʽÿÀ.
3. ¿ì¸® ȸ»ç¿¡ Áö¿øÇÏ°Ô µÈ µ¿±â´Â ¹«¾ùÀ̸ç, ÀÔ»ç ÈÄ ¾î¶»°Ô ¼ºÀåÇØ ³ª°¥ °ÍÀÎÁö ±â¼úÇϽʽÿÀ.
4. ¸éÁ¢ ¿¹»ó Áú¹® ¹× ´äº¯
º»¹®
º»¹®/³»¿ë
1. DBÇÏÀÌÅØÀÇ ÀÎÀç»ó Áß º»Àο¡°Ô °¡Àå ¾î¿ï¸®´Â ÀÎÀç»óÀ» °í¸£°í, ÇØ´ç ÀÎÀç»óÀ» ÅëÇØ ¼ºÃë°¨À» ´À²¼´ø °æÇèÀ» ±â¼úÇϽʽÿÀ.
DBÇÏÀÌÅØÀÇ ÀÎÀç»ó Áß Á¦°¡ °¡Àå Àß ºÎÇÕÇÑ´Ù°í »ý°¢ÇÏ´Â °ÍÀº ¡°µµÀü°ú ¿Á¤À» °¡Áø âÀÇÀû ÀÎÀ硱ÀÔ´Ï´Ù. ¹ÝµµÃ¼ ¼ÒÀÚ °³¹ßÀº ²÷ÀÓ¾ø´Â ¿¬±¸¿Í ½ÇÆÐ ¼Ó¿¡¼ »õ·Î¿î °¡´É¼ºÀ» ã¾Æ³»¾ß ÇÏ´Â Á÷¹«·Î, ´Ü¼øÇÑ ¹Ýº¹º¸´Ù µµÀüÁ¤½Å°ú âÀÇÀû ¹®Á¦ ÇØ°á ´É·ÂÀÌ ÇÙ½ÉÀ̶ó°í »ý°¢ÇÕ´Ï´Ù. Àú´Â ´ëÇÐ ½ÃÀý ¹ÝµµÃ¼ ¼ÒÀÚ ¿¬±¸½Ç ÇкΠÀÎÅÏÀ¸·Î Âü¿©Çß´ø °æÇè¿¡¼ ÀÌ·¯ÇÑ ÀÎÀç»ó°ú ¸Â´êÀº ¼ºÃ븦 °æÇèÇß½À´Ï´Ù.
¿¬±¸½Ç ÇÁ·ÎÁ§Æ®´Â FinFET ±¸Á¶¿¡¼ °ÔÀÌÆ® ´©¼³ Àü·ù¸¦ ÃÖ¼ÒÈÇϱâ À§ÇÑ ÃÖÀûÈ Á¶°ÇÀ» Ž»öÇÏ´Â °ÍÀ̾ú½À´Ï´Ù. ´ç½Ã ½Ã¹Ä·¹ÀÌ¼Ç °úÁ¤¿¡¼ ¿¹»óÄ¡ ¸øÇÑ ¹®Á¦°¡ ¹ß»ýÇß½À´Ï´Ù. ¼³Á¤ÇÑ Á¶°Ç¿¡¼ Àü·ù ¹Ðµµ°¡ ºñÁ¤»óÀûÀ¸·Î Áõ°¡Çߴµ¥, ´Ü¼øÈ÷ ¸Å°³º¯¼ö ¿À·ùÀÎÁö, ¸ðµ¨¸µÀÇ ÇѰèÀÎÁö ¿øÀÎÀ» ã±â ¾î·Á¿ü½À´Ï´Ù. ¿¬±¸½Ç ³»¿¡¼µµ ¶Ñ·ÇÇÑ ÇØ°áÃ¥ÀÌ ¾ø¾î ÇÁ·ÎÁ§Æ®°¡ Áö¿¬µÉ À§±â¿´½À´Ï´Ù.
Àú´Â Æ÷±âÇÏÁö ¾Ê°í ¹®Á¦ÀÇ ±Ùº» ¿øÀÎÀ» ã±â À§ÇØ µµÀüÇß½À´Ï´Ù. TCAD ½Ã¹Ä·¹ÀÌÅÍÀÇ ¼¼ºÎ ¸Å´º¾óÀ» óÀ½ºÎÅÍ ´Ù½Ã °ËÅäÇß°í, ±¹Á¦ Àú³Î ³í¹®¿¡¼ À¯»ç ¡¦(»ý·«)