¸ñÂ÷/Â÷·Ê
1. º»ÀÎÀÇ Æ¯±â¿Í ÀåÁ¡À» ¼Ò°³ÇØÁֽðí, À̰ÍÀ» ÅëÇØ ¾î¶»°Ô ȸ»ç¿¡ ±â¿©ÇÒ ¼ö ÀÖ´ÂÁö Áö¿øµ¿±â¸¦ ¼¼úÇØÁÖ¼¼¿ä.
2. Áö¿ø ºÐ¾ß¸¦ ¼öÇàÇϱâ À§ÇØ ¾î¶°ÇÑ ³ë·ÂÀ» Çß´ÂÁö ¼¼úÇØÁÖ¼¼¿ä.
3. ¿øÀÍÀÌ Áö¼Ó ¼ºÀåÇϱâ À§ÇØ ¾î¶² Çٽɿª·®ÀÌ ÇÊ¿äÇÑÁö º»ÀÎÀÇ ÀǰßÀ» ±â¼úÇØÁÖ¼¼¿ä.
4. ´Ù¾çÇÑ È¯°æ º¯È¿¡ ÀûÀÀÇÑ °æÇè°ú ´Ù¸¥ »ç¶÷ÀÇ ½Å·Ú¸¦ ¾òÀº °æÇèÀ» ¼¼úÇØÁÖ¼¼¿ä.
5. ¸éÁ¢ ¿¹»ó Áú¹®
º»¹®
º»¹®/³»¿ë
1. º»ÀÎÀÇ Æ¯±â¿Í ÀåÁ¡À» ¼Ò°³ÇØÁֽðí, À̰ÍÀ» ÅëÇØ ¾î¶»°Ô ȸ»ç¿¡ ±â¿©ÇÒ ¼ö ÀÖ´ÂÁö Áö¿øµ¿±â¸¦ ¼¼úÇØÁÖ¼¼¿ä.
ÀúÀÇ Æ¯±â´Â ¹®Á¦ ÇØ°á °úÁ¤¿¡¼ Æ÷±âÇÏÁö ¾Ê°í ³¡±îÁö °³¼±Á¡À» ã¾Æ³»´Â ²ö±â¿Í, ½ÇÇè °á°ú¸¦ Á¤·®ÀûÀ¸·Î ºÐ¼®ÇØ ¿øÀÎÀ» ±Ô¸íÇÏ´Â ´É·ÂÀÔ´Ï´Ù. °øÁ¤°³¹ß Á÷¹«´Â ´Ü¼øÈ÷ Àåºñ¸¦ ¿î¿ëÇÏ´Â °Í¿¡ ±×Ä¡Áö ¾Ê°í, °øÁ¤ Á¶°ÇÀ» ¼ö½Ê ¹ø ¹Ýº¹ ½ÇÇèÇϸç ÃÖÀûȸ¦ µµÃâÇÏ´Â °úÁ¤ÀÌ ÇÙ½ÉÀÔ´Ï´Ù. Àú´Â ÀÌ °úÁ¤¿¡¼ ¹ß»ýÇÏ´Â º¯¼ö¸¦ ¼¼¹ÐÇÏ°Ô ÃßÀûÇϰí, ½ÇÇè µ¥ÀÌÅ͸¦ Åä´ë·Î °³¼±¾ÈÀ» ¼³°èÇÏ´Â ¿ª·®À» º¸À¯Çϰí ÀÖ½À´Ï´Ù.
´ëÇпø ½ÃÀý, ALD(¿øÀÚÃþ ÁõÂø) °øÁ¤ ÃÖÀûÈ ÇÁ·ÎÁ§Æ®¸¦ ¼öÇàÇÑ °æÇèÀÌ ´ëÇ¥ÀûÀÔ´Ï´Ù. Ãʱ⠸ñÇ¥´Â ƯÁ¤ Àý¿¬¸·ÀÇ µÎ²² ±ÕÀϼºÀ» ¡¾2% ÀÌÇÏ·Î À¯ÁöÇÏ´Â °ÍÀ̾ú½À´Ï´Ù. ±×·¯³ª ù ¹øÂ° ½ÇÇè¿¡¼´Â 10% ÀÌ»ó ÆíÂ÷°¡ ¹ß»ýÇØ ¸ñÇ¥¿Í Å« Â÷À̰¡ ÀÖ¾ú½À´Ï´Ù. Àú´Â ¹®Á¦ÀÇ ¿øÀÎÀ» ´Ü¼øÈ÷ Àåºñ ¿ÀÀÛµ¿À¸·Î µ¹¸®Áö ¾Ê°í, ±âü ÁÖÀÔ ¼Óµµ, è¹ö ³» ¿Âµµ ºÐÆ÷, Àü±¸Ã¼ÀÇ ÈÇÐÀû Ư¼ºÀ» ¼¼ºÐÈÇÏ¿© ºÐ¼®Çß½À´Ï´Ù. ÀÌÈÄ º¯¼öº°·Î Á¶°ÇÀ» ¹Ù²Ù¾î ¼ö½Ê Â÷·Ê ½ÇÇèÀ» ¹Ýº¹Çß°í, °¢ ½ÇÇèÀÇ µ¥ÀÌÅ͸¦ ü°èÀûÀ¸·Î Á¤¸®ÇÏ¿© ¿øÀÎÀ» ±Ô¸íÇß½À´Ï´Ù. ÃÖÁ¾ÀûÀ¸·Î Àü±¸Ã¼¡¦(»ý·«)