본문/내용
1. 본인의 연구 경험이나 프로젝트 중에서 나노융합기계 분야와 관련된 내용을 설명해보세요.
나노융합기계 분야의 연구에 참여하여, MEMS 센서 제작에 주력한 경험이 있습니다. 2022년부터 2년간 나노스케일의 실리콘 및 폴리머 소재를 활용하여 초정밀 MEMS 압력 센서를 개발하였으며, 제작 공정 단계에서 극초미세 가공 기술을 적용하여 선폭 100nm 이하의 회로 패턴을 형성하였습니다. 이 과정에서 광학적 마스크 리소그래피와 이온 빔 세정을 병행하여 구조의 정밀도를 30nm 수준으로 향상시켰으며, 제작된 센서의 민감도는 1200Pa에 대해 95%의 재현성을 확보하였습니다. 또한, 나노융합 구조를 통해 센서의 노이즈를 0. 5mPa 이하로 낮추는 성과를 거두었으며, 수명 평가에서는 10만번 이상 반복 시험에서도 성능 변화가 없었음을 확인하였습니다. 이러한 연구 결과는 차세대 하이브리드 센서 개발 및 산업 현장 적용에 실질적 기여를 하고 있으며, 관련 논문은 SCI급 저널에 게재되어 50회 이상의 인용을 기록하고 있습니다. 이와 같은 경험을 바탕으로 다양한 나노융합기계 기술을 접목하여 산업 현장에 효과적으로 적용하는 연구에 매진하고 있습니다.
2. 나…