본문/내용
1. 반도체 제조 공정에 대한 기본 이해도를 설명해 주세요.
반도체 제조 공정은 웨이퍼 준비, 산화, 포토공정, 식각, 증착, 메탈공정, 검사, 패키징 등 여러 단계로 구성되어 있습니다. 웨이퍼는 직경이 8인치 또는 12인치로, 각각 약 200g과 500g의 무게를 가지고 있으며, 생산수율을 높이기 위해 온도와 습도를 철저히 제어하는 환경에서 생산됩니다. 예를 들어, 포토공정은 수백 나노미터 단위의 미세 패턴을 형성하는 과정으로, 일반적으로 노광기와 현상기를 사용하며, 투과율이 98% 이상인 드라이포토레지스트를 활용하여 7nm 이하 회로를 제작합니다. 식각 단계에서는 산화막, 실리콘, 금속 등을 선택적으로 제거하는데, 이때 식각 시간과 조건을 엄격히 제어하여 오차를 1nm 미만으로 유지합니다. 증착은 화학기상 증착(CVD) 또는 물리기상 증착(PVD) 방식을 통해 얇은 박막을 형성하며, 증착 두께 오차는 ±2nm 이내로 관리됩니다. 검사 단계에서는 전기적 특성 테스트와 이미지 검사를 수행하며, 결함률을 0. 01% 이하로 유지하는 것이 목표입니다. 전체 공정에서 생산 라인의 가동율은 95% 이상 유지하며, 연간 생산량은 세계 시장에서 약 10억 개 이상의 …