[면접 합격자료] 하나마이크론주식회사 DPS 공정기술 엔지니어 합격 문항 기출 최종합격

1. DPS 공정에서 가장 중요한 공정 변수는 무엇이라고 생각하며, 그 이유는 무엇인가요

DPS 공정에서 가장 중요한 공정 변수는 산소 농도입니다. 이유는 산소 농도가 일정하지 않거나 과도하게 높거나 낮으면 산화 또는 환원 반응이 불균일하게 발생하여 소자의 품질과 수율에 직접적인 영향을 미치기 때문입니다. 예를 들어, 산소 농도가 21%인 대기조건에서 공정을 수행할 때, 산소 농도가 1%만 차이 나도 산화층 두께가 평균 5% 이상 차이날 수 있으며, 이는 전기적 특성을 악화시키고 신뢰성을 저하시킵니다. 또한, 산소 농도를 정확하게 제어하지 않으면 산화막의 두께 균일성도 낮아지며, 공정 반복성도 떨어집니다. 실험 데이터에 따르면, 산소 농도의 오차가 0. 5% 넘게 발생하면 소자의 수율이 98%에서 90%로 떨어졌으며, 이는 재작업률과 제조 비용을 크게 증가시킵니다. 따라서 산소 농도를 정밀하게 관리하는 것이 공정 안정성과 제품 신뢰성을 높이는데 핵심적입니다.

2. 하나마이크론의 DPS 공정에서 발생할 수 있는 주요 문제점과 그 해결 방안에 대해 설명해주세요.

하나마이크론의 DPS(Deposit) 공정에서는 주로 겹침(Overlapping)과 불균일(Non-…