본문/내용
1. Bump 공정에서 품질 관리를 위해 어떤 주요 공정 변수를 모니터링하나요
하나마이크론 Bump 공정에서 품질 관리를 위해 모니터링하는 주요 공정 변수에는 온도, 습도, 압력, 잉크 점도, 범핑 두께, 범핑 두께 균일도, 범핑 오픈률, 범핑 접합율, 범핑수명, 품질 인수율, 범핑 재료의 화학 조성, 이온농도, 커버리지율, 범핑 접촉 저항 등이 포함됩니다. 특히 범핑 두께는 통상 20~50㎛ 범위 내에서 공정 변수에 따라 수차례 측정하며, 범핑 오픈률은 0. 5% 이내 유지가 필요합니다. 온도와 습도는 각각 25±2℃, 50±5%로 유지 필수이며, 범핑 두께 변동은 표준편차가 3% 이내로 관리됩니다. 공정 중 잉크 점도는 1,000~1,500 cPs로 유지하여 범핑 균일성을 확보하며, 이상 품질이 관찰된 경우 수율은 99% 이상 유지하도록 지속적으로 통계적 공정 제어(SPC)를 수행합니다. 범핑접합율은 9 5% 이상, 접합 후 수명 시험에서 1,000시간 이상 무고장 작동이 확인되어야 합니다. 이러한 변수 모니터링을 통해 제품 불량률을 0. 2% 이하로 낮추고, 평균 범핑 두께 편차를 2㎛ 이하로 유지하는 것이 핵심입니다.
2. Bump 공정 중 발생할 수 있는 대표적인 결함 유…