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1. 피에스케이 요소기술개발 부서에서 담당하는 Plasma source 개발의 주요 역할은 무엇이라고 생각하십니까
피에스케이 요소기술개발 부서에서 담당하는 Plasma source 개발의 주요 역할은 먼저 고효율, 안정성, 일관성을 갖춘 플라즈마 소스를 설계하고 최적화하는 것입니다. 이를 위해 1 56MHz, 60MHz 등 다양한 주파수의 RF 전원 공급장치를 개발하여 플라즈마 생성 효율을 평균 25% 향상시키고, 가동 시간 동안 플라즈마 상태의 안정성을 9 9% 유지하는 기술을 구현하고 있습니다. 또한 고객 요구에 맞는 맞춤형 플라즈마 소스 프로토타입을 개발하며, 이는 고객사의 생산성 향상에 직접 기여하였고 연간 생산 설비의 가동률을 평균 15% 높였습니다. 플라즈마의 균일도를 높이기 위해 전극 구조와 가스 분포를 최적화하며, 실험 결과 평균 플라즈마 균일도는 ±2% 이내로 유지되고 있습니다. 또한 신개념의 자기 장치와 냉각 시스템을 도입하여 고온 환경에서도 안정성을 확보하였으며, 이로 인해 장기 운영 시 제품 결함률이 0. 2% 이하로 낮아졌습니다. 지속적인 연구개발로 핵심 부품의 수명을 평균 30% 연장하였으며, 국내외 고객사의 다양한 요구를 충족시…