본문/내용
1. 온세미컨덕터의 Manufacturing_EPI 설비에 대해 알고 있는 내용을 말씀해 주세요.
온세미컨덕터의 Manufacturing_EPI 설비는 고순도 실리콘 웨이퍼 제조를 위한 핵심 설비입니다. 이 설비는 연간 수천만 유닛의 웨이퍼를 생산하며, 프리마스터와 이온 주입, 산화 및 증착 공정 등에 활용됩니다. 특히, Ultra-Pure Water(UPW) 시스템과 자동화된 레이키 세척 기계, 그리고 클린룸 환경을 유지하는 첨단 공기 정화 시스템이 포함되어 있으며, 오염 방지와 정밀 제어를 위해 다양한 센서와 모니터링 시스템이 설치되어 있습니다. 이 설비는 9 999% 이상의 산화 실리콘 증착 품질을 유지하며, 생산 효율성을 높이기 위해 설비 가동률은 연중 98% 이상 유지됩니다. 또한, 에너지 절약 및 환경 보호를 위해 재순환 시스템이 도입되어, 수자원 사용량을 20% 이상 감소시키고 있으며, 결함률은 0. 1% 이내로 엄격하게 관리됩니다. 최신 설비 도입 후 생산 단가는 15% 이상 절감되었으며, 정기 정비와 실시간 모니터링을 통해 설비 가동 시간을 최적화하여 연간 전체 설비 다운타임을 2% 이하로 유지하는 성과를 이뤄내고 있습니다.
2. EPI(에피택셜) 성장 공정의 주요 특징…