본문/내용
1. 반도체 제조 공정의 주요 단계와 각각의 역할에 대해 설명하세요.
반도체 제조 공정은 웨이퍼 준비, 산화, 포토리소그래피, 식각, 이온주입, 증착, 평탄화, 금속배선, 검사 및 패키징 단계로 구성됩니다. 먼저 웨이퍼는 순도 9 9999%의 실리콘 잉곳을 절단하여 만들어지며, 표면이 깨끗하게 세척됩니다. 산화 단계에서 실리콘 표면에 실리콘 산화막이 형성되어 절연층이 되며, 산화막 두께는 수 nm에서 수십 nm에 이릅니다. 포토리소그래피 공정에서는 감광제 도포 후 노광하여 미세 패턴을 형성하며, 패턴 크기는 7nm 기술에서도 가능할 정도로 정밀합니다. 식각 공정에서는 불필요한 산화막이나 패턴을 제거하며, 건식과 습식 식각법이 병행됩니다. 이온주입 단계에서는 도핑 농도를 10^15/cm^3에서 10^20/cm^3까지 조절하여 전기적 특성을 부여합니다. 증착 공정에서는 화학기상증착(CVD) 또는 물리기상증착(PVD)을 통해 구리, 티타늄 등 금속을 증착하며, 두께는 수 nm에서 수백 nm까지 조절됩니다. 평탄화 단계에서 CMP(화학기계적 폴리싱)를 통해 웨이퍼 표면을 매끄럽게 만들어 이후 공정의 정밀도를 높입니다. 검사 과정에서는 전수검사를 통해 결함률을 0. 1%…