본문/내용
1. 반도체 제조 공정에 대해 설명해보세요.
반도체 제조 공정은 고순도 실리콘 웨이퍼 위에 미세한 반도체 소자를 형성하는 복잡한 단계로 이루어져 있습니다. 먼저 실리콘 결정체를 정제하여 얻은 단결정을 웨이퍼로 절단하며, 이 과정에서 9 999999% 이상의 초순도 실리콘이 활용됩니다. 이후 웨이퍼는 세척 및 산화 처리 과정을 거쳐 표면을 평탄하게 만들며, 이어서 포토리소그래피 공정이 진행됩니다. 포토리소그래피에서는 감광성 수지를 얇게 도포한 후, 마스크를 통해 원하는 패턴을 노광하여 미세회로를 형성합니다. 그 후 현상 과정을 통해 노광된 부분만 남기고 제거하며, 이 패턴을 바탕으로 산화, 증착, 식각 등의 공정을 반복하여 트랜지스터, 저항기 등 다양한 소자를 제작합니다. 증착 공정에서는 화학기상증착(CVD)과 증기증착(ALD) 기법을 활용하여 수 나노미터 수준의 얇은 박막을 형성하며, 이 과정에서 증착 속도는 시간당 수십 nm로 조절되어 정밀한 두께 컨트롤이 가능하게 제작합니다. 식각 단계에서는 건식 및 습식 식각 공정을 통해 불필요한 부분을 제거하며, 이를 통해 소자의 미세화와 집적도를 높여 5nm 이하 공정을 실현하기도 합니다. 최…