¸ñÂ÷/Â÷·Ê
1. º»ÀÎÀÇ °æ·Â ¶Ç´Â °æÇè Áß Deposition(ÁßÂø) ºÐ¾ß¿Í °ü·ÃµÈ ³»¿ëÀ» ¼³¸íÇØ ÁÖ¼¼¿ä.
2. Field Service Engineer·Î¼ °í°´°úÀÇ Ä¿¹Â´ÏÄÉÀ̼ǿ¡¼ Áß¿äÇÏ´Ù°í »ý°¢ÇÏ´Â Á¡Àº ¹«¾ùÀΰ¡¿ä
3. ¼³ºñ °íÀå ½Ã ¹®Á¦¸¦ ½Å¼ÓÇÏ°Ô ºÐ¼®Çϰí ÇØ°áÇß´ø °æÇèÀÌ ÀÖ´Ù¸é ±¸Ã¼ÀûÀ¸·Î À̾߱âÇØ ÁÖ¼¼¿ä.
4. Deposition °øÁ¤¿¡¼ ÁÖ·Î »ç¿ëÇÏ´Â Àåºñ¿Í ±× Ư¼º¿¡ ´ëÇØ ¼³¸íÇØ ÁÖ¼¼¿ä.
5. ÀÛ¾÷ Áß ¾ÈÀü»ç°í¸¦ ¹æÁöÇϱâ À§ÇØ ¾î¶² Á¶Ä¡¸¦ ÃëÇϳª¿ä
6. ÀÌÀü Á÷Àå¿¡¼ ¼öÇàÇß´ø À¯Áöº¸¼ö ¶Ç´Â ¼³Ä¡ ÀÛ¾÷ Áß ¾î·Á¿ü´ø »ç·Ê¿Í À̸¦ ÇØ°áÇÑ ¹æ¹ýÀ» ¾Ë·Á ÁÖ¼¼¿ä.
7. »õ·Î¿î ±â¼úÀ̳ª °øÁ¤À» ¹è¿ï ¶§ ¾î¶² Á¢±Ù ¹æ½ÄÀ» »ç¿ëÇϽóª¿ä
8. º»ÀÎÀÌ °®Ãß°í ÀÖ´Ù°í »ý°¢ÇÏ´Â Field Service Engineer·Î¼ÀÇ °Á¡Àº ¹«¾ùÀΰ¡¿ä
º»¹®/³»¿ë
1. º»ÀÎÀÇ °æ·Â ¶Ç´Â °æÇè Áß Deposition(ÁßÂø) ºÐ¾ß¿Í °ü·ÃµÈ ³»¿ëÀ» ¼³¸íÇØ ÁÖ¼¼¿ä.
¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤ Áß Deposition(ÁßÂø) ºÐ¾ß¿¡ 5³â °£ÀÇ °æÇèÀÌ ÀÖ½À´Ï´Ù. ½Ç¸®ÄÜ »êȸ· ¹× Áúȸ· ÁõÂø °øÁ¤À» ´ã´çÇϸç PECVD¿Í Low-Pressure CVD Àåºñ¸¦ ÁÖ·Î »ç¿ëÇØ ¿Ô½À´Ï´Ù. ƯÈ÷, 220mm ¹× 300mm ¿þÀÌÆÛ¿¡ ´ëÇØ ¹èÄ¡ »ý»ê ¶óÀο¡¼ Æò±Õ ÁõÂø µÎ²²¸¦ 10% ÀÌ»ó Çâ»ó½ÃŰ´Â ¼º°ú¸¦ ÀÌ·ç¾úÀ¸¸ç, ÁõÂø µÎ²² Á¤¹Ðµµ´Â ±2nm À̳»¸¦ À¯ÁöÇÏ¿´½À´Ï´Ù. ÁõÂø °øÁ¤ Áß ¹ß»ýÇÏ´Â °áÇÔ·üÀ» ÀÌÀü ´ëºñ 30% ³·Ãß¾úÀ¸¸ç, Àåºñ À¯Áöº¸¼ö¿Í ¹®Á¦ ÇØ°á¿¡ À־ ¼³ºñ Á¤ºñ Áֱ⸦ 15% ¿¬Àå½ÃÄÑ »ý»ê¼ºÀ» ³ôÀÎ °æÇèÀÌ ÀÖ½À´Ï´Ù. ¶ÇÇÑ, °øÁ¤ ÃÖÀûȸ¦ À§ÇØ ¿Âµµ, ¾Ð·Â, °¡½º À¯·® µî ´Ù¾çÇÑ º¯¼öµéÀ» Á¶Á¤ÇÏ¿© ¹èÄ¡ ½Ã°£ ´ÜÃà°ú µ¿½Ã¿¡ ºÒ·®·üÀ» ÁÙÀÎ »ç·Ê°¡ ÀÖ½À´Ï´Ù. ±âÁ¸ °øÁ¤¿¡¼ ¹ß»ýÇÏ´ø ¸·ÀÇ ±ÕÀϼº ¹®Á¦¸¦ ºÐ¼®ÇÏ¿©, °¡½º °ø±Þ ½Ã½ºÅÛÀ» °³¼±ÇÑ ÈÄ ±ÕÀϵµ¸¦ Æò±Õ ±3% À̳»·Î À¯ÁöÇÏ´Â ¼º°ú¸¦ ´Þ¼ºÇÏ¿´À¸¸ç, À̸¦ ÅëÇØ °í°´»çÀÇ Ç°Áú ±âÁØÀ» ÃæÁ·½ÃŰ´Â µ¥ ±â¿©ÇÏ¿´½À´Ï´Ù. ÀÌ¿Í °°Àº °æÇèÀ» ¹ÙÅÁÀ¸·Î Deposition °øÁ¤ÀÇ È¿À²È¿Í ǰÁú Çâ»ó¿¡ Áö¼ÓÀûÀ¸·Î ±â¿©ÇÏ°í ½Í½À´Ï´Ù.
2. F¡¦(»ý·«)