¸ñÂ÷/Â÷·Ê
1. º»ÀÎÀÇ °æ·ÂÀ̳ª °æÇè Áß ÁõÂø °øÁ¤°ú °ü·ÃµÈ ³»¿ëÀ» ¼³¸íÇØ ÁÖ¼¼¿ä.
2. ÁõÂø °øÁ¤¿¡¼ °¡Àå Áß¿äÇÏ´Ù°í »ý°¢ÇÏ´Â ÇÙ½É ÆÄ¶ó¹ÌÅÍ´Â ¹«¾ùÀ̸ç, ±× ÀÌÀ¯´Â ¹«¾ùÀΰ¡¿ä
3. ÁõÂø °øÁ¤¿¡¼ ¹ß»ýÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ¹®Á¦ »óȲ°ú À̸¦ ÇØ°áÇÑ °æÇèÀÌ ÀÖ´Ù¸é ¸»¾¸ÇØ ÁÖ¼¼¿ä.
4. ·¥¸®¼Ä¡ÀÇ ÁõÂø °øÁ¤ ±â¼ú¿¡ ´ëÇØ ¾Ë°í ÀÖ´Â ³»¿ëÀ» ¼³¸íÇØ ÁÖ¼¼¿ä.
5. ÆÀ ³»¿¡¼ ´Ù¸¥ ºÎ¼¿Í Çù¾÷Çß´ø °æÇèÀÌ ÀÖ´Ù¸é ±¸Ã¼ÀûÀ¸·Î ¸»¾¸ÇØ ÁÖ¼¼¿ä.
6. °øÁ¤ °³¼±À̳ª ÃÖÀûȸ¦ À§ÇØ ¾î¶² ¹æ¹ýÀ» ½ÃµµÇÑ °æÇèÀÌ ÀÖ³ª¿ä
7. ÇöÀå ÀÛ¾÷ Áß ¾ÈÀüÀ» À§ÇØ ¾î¶² ³ë·ÂÀ» Çϰí ÀÖ³ª¿ä
8. º»ÀÎÀÌ ÀÌ ¿ªÇÒ¿¡ ÀûÇÕÇÏ´Ù°í »ý°¢ÇÏ´Â ÀÌÀ¯¸¦ ¸»¾¸ÇØ ÁÖ¼¼¿ä.
º»¹®/³»¿ë
1. º»ÀÎÀÇ °æ·ÂÀ̳ª °æÇè Áß ÁõÂø °øÁ¤°ú °ü·ÃµÈ ³»¿ëÀ» ¼³¸íÇØ ÁÖ¼¼¿ä.
ÁõÂø °øÁ¤ ºÐ¾ß¿¡¼ 5³â ÀÌ»ó °æÇèÀ» ½×¾ÒÀ¸¸ç, ƯÈ÷ ÇöóÁ ÁõÂø°ú ÈÇбâ»óÁõÂø(CVD) °øÁ¤ÀÇ ÃÖÀûÈ¿¡ ÁÖ·ÂÇØ ¿Ô½À´Ï´Ù. À̸¦ ÅëÇØ ¼ö¹é °³ ÀÌ»óÀÇ ¿þÀÌÆÛ ¹èÄ¡¿Í »ý»ê ¶óÀο¡¼ Æò±Õ ¼öÀ² Çâ»ó 15%¸¦ ´Þ¼ºÇÏ¿´À¸¸ç, ÁõÂø µÎ²² ±ÕÀϵµ¸¦ 3% ÀÌÇÏ·Î À¯ÁöÇϴµ¥ ¼º°øÇÏ¿´½À´Ï´Ù. °øÁ¤ ÃÖÀûÈ °úÁ¤¿¡¼´Â ÇÁ·Î¼¼½º º¯¼ö(¿Âµµ, ¾Ð·Â, °¡½º ³óµµ)¸¦ ü°èÀûÀ¸·Î ºÐ¼®ÇÏ¿© ÁõÂø µÎ²²ÀÇ ºÐ»êÀ» ÃÖ¼ÒÈÇÏ¿´À¸¸ç, BET ½ÃÇè°ú SEM À̹ÌÁö¸¦ Ȱ¿ëÇÑ ÁõÂøÃþÀÇ °áÇÔ·üÀ» 0. 5% ÀÌÇÏ·Î À¯ÁöÇÏ¿´½À´Ï´Ù. ¶ÇÇÑ, »õ·Î¿î ÁõÂø Àç·á µµÀÔ ½Ã ½ÃÇè ÇÁ·Î¼¼½º¸¦ ¼³°èÇÏ¿© »ý»ê¼º Çâ»ó°ú ǰÁú ¾ÈÁ¤¼ºÀ» È®º¸Çß°í, °øÁ¤ µ¥ÀÌÅÍ ºÐ¼®À» ÅëÇØ ºÒ·®·üÀ» 20% ÀÌ»ó °¨¼Ò½ÃŲ °æÇèµµ ÀÖ½À´Ï´Ù. ÀÌ·¯ÇÑ °æÇèÀ» ¹ÙÅÁÀ¸·Î »ý»ê ¶óÀο¡¼ Áö¼ÓÀû ǰÁú °³¼±°ú ºñ¿ë Àý°¨¿¡ ±â¿©ÇØ ¿Ô½À´Ï´Ù.
2. ÁõÂø °øÁ¤¿¡¼ °¡Àå Áß¿äÇÏ´Ù°í »ý°¢ÇÏ´Â ÇÙ½É ÆÄ¶ó¹ÌÅÍ´Â ¹«¾ùÀ̸ç, ±× ÀÌÀ¯´Â ¹«¾ùÀΰ¡¿ä
ÁõÂø °øÁ¤¿¡¼ °¡Àå Áß¿äÇÑ ÇÙ½É ÆÄ¶ó¹ÌÅÍ´Â µÎ²² ±ÕÀϼº°ú ÁõÂø ¼ÓµµÀÔ´Ï´Ù. µÎ²² ±ÕÀϼºÀº Ĩ Àüü¿¡ °ÉÃÄ ÇÊ¿äÇÑ ±ÕÀÏÇÑ ¹Ú¸· µÎ²²¸¦ À¯¡¦(»ý·«)