본문/내용
1. 포토레지스트 생산 공정에 대해 설명해 주세요.
포토레지스트 생산 공정은 원료 혼합에서 최종 제품 출하까지 여러 단계로 구성되어 있습니다. 주성분인 핵심 폴리머와 감광제, 첨가제를 정밀하게 혼합하여 균일한 조성을 만듭니다. 이때, 원료의 순도와 비율 조절이 중요하며, 혼합 장비는 1000리터 이상 규모의 반응기로 엄격히 제어됩니다. 이후, 혼합된 포토레지스트 용액은 정밀 Filtration 과정을 거쳐 이물질과 미세 불순물을 제거하여 제품 불량률을 낮춥니다. 이 과정에서 수율은 평균 9 8%로 유지되며, 미세 이물 제거 후에는 두께 균일도를 확보하기 위해 코팅 용량과 표면 평탄도 검사를 실시합니다. 이후로는 건조 및 안정화 단계로, 열처리와 진공 조건에서 용액의 안정성을 확보하며, 공정 조건은 온도 60~70도, 습도 30% 이하로 엄격히 제어됩니다. 이 단계들은 모두 품질 관리 기준과 표준 검사를 통과해야 하며, 최종 제품은 강도, 포토레지스트 두께 균일성, 감광도, 세척성 등 다양한 품질 검사를 거칩니다. 생산 관리 시스템은 ERP와 MES 시스템을 통해 실시간 모니터링하며, 생산량은 연간 1만 톤 이상을 목표로 하고 있습니다. 이를 통해 생산 …