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1. 포토레지스트의 역할과 반도체 공정에서의 중요성에 대해 설명해 주세요.
포토레지스트는 반도체 제조에서 핵심 역할을 담당하는 감광성 표면 코팅 물질입니다. 이 소재는 노광 및 현상 공정을 통해 원하는 패턴을 반도체 웨이퍼에 형성하는 데 사용되며, 미세 회로 패턴의 정밀도를 결정하는 중요한 요소입니다. 최근 5나노 공정에서는 포토레지스트의 해상도와 정밀도가 제품 성능에 직결되어, 미세 패턴 형성에 있어서 에치-광학 설계를 통한 최적화와 함께 사용량도 10% 이상 증가하여 제조 공정의 경쟁력을 향상시켰습니다. 포토레지스트는 광선에 노출되면 화학적 성질이 변화하여 현상 시에 선택적으로 제거되거나 남게 되므로, 미세 패턴을 정밀하게 구현하는 것이 가능하게 합니다. 또한, 최신 포토레지스트는 건조 공정 후에도 극저온 환경에서의 안정성이 높아져, 수백 나노미터 이하의 초미세 패턴 형성에 큰 도움을 주고 있습니다. 이러한 기술 발전으로 인해, 포토레지스트는 반도체 공정의 생산 수율을 평균 98% 이상 유지하며, 3년 동안 수율 향상률 15%, 미세공정 시장 점유율 25% 상승 등 기업 경쟁력 확보에 핵심적 역할을 하고 있습니다. 낮은 공…