본문/내용
1. 동부하이텍의 단위공정에 대해 설명해보세요.
동부하이텍의 단위공정은 반도체 제조의 핵심 과정을 체계적으로 수행하여 고품질 칩을 생산하는 일련의 단계입니다. 웨이퍼 준비 단계에서는 실리콘 웨이퍼를 세척하고 이물질 제거 과정을 거치며, 이 과정을 통해 0. 5마이크로미터 이하의 오염물을 제거합니다. 이후에 산화 공정에서는 산소가스와 실리콘 기판을 반응시켜 100~200nm 두께의 산화 실리콘층을 형성하며, 이를 통해 절연층을 확보합니다. 다음으로, 포토리소그래피 공정에서는 감광제를 도포 후 UV 노광을 통해 설계 패턴을 웨이퍼에 전사하며, 이 과정은 수백 개의 패턴이 정밀하게 형성되도록 설계되었습니다. 식각 공정에서는 불필요한 실리콘 또는 절연층을 선택적으로 제거하는데, 건식 또는 습식 식각 기술이 활용되며, 이는 포토 공정 후 수십 나노미터 단위의 정밀 제어가 필요합니다. 이련 후 금속 증착 공정에서는 증착 기법으로 금속선을 형성하며, 이를 통해 트랜지스터와 회로 간의 연결을 완성하게 됩니다. 마지막으로, 검사 및 시험 단계에서는 전기적 특성과 품질 검사를 시행하여 불량률 0. 1% 이하를 유지하며, 지속적 공정 개선과 품질…