[면접 합격자료] 나노종합기술원 MEMS 센서 설계 및 소자응용(E) 합격 문항 기출 최종합격

1. MEMS 센서의 기본 원리와 동작 방식을 설명해보세요.

MEMS 센서는 미세 전자기계 시스템으로, 작은 크기(수 마이크로미터에서 수십 마이크로미터 수준) 내에 센서와 액추에이터가 집적되어 있습니다. 이들 센서의 기본 원리는 변형, 가속, 압력, 온도 등의 물리량을 감지하여 전기적 신호로 변환하는 것입니다. MEMS 센서 내부에는 캔틸레버, 진동판, 압력 판넬 등이 있으며, 이들이 외부 환경에 따른 물리적 변화에 반응합니다. 예를 들어, 가속도 센서의 경우, 센서 내부의 작은 질량이 가속에 따라 변위하며, 이를 정전용량, 저항 변화 또는 피에조 전기 효과 등을 활용해 측정합니다. 실제로 스마트폰, 차량 안전장치, 산업용 로봇 등 다양한 분야에서 활용되며, 예를 들어 가속도 센서는 차량 급정거나 충돌 시 충돌 감지에 사용되어, 2xxx년 기준으로 세계 가속도 센서 시장이 연평균 5%씩 성장하는 등 시장이 급팽창하고 있습니다. 또한, MEMS 압력 센서의 민감도는 1Pa 수준까지 측정 가능하며, 높은 정확도를 보유하고 있습니다. 이러한 원리와 기술적 특성 덕분에 고신뢰성, 소형화, 저전력 소비의 장점이 있어 현대 산업과 일상생활에서 핵심 역할을 담당합…