[면접 합격자료] 나노종합기술원 MEMS 센서 설계 및 소자응용(A) 합격 문항 기출 최종합격

1. MEMS 센서의 기본 원리와 작동 방식을 설명하시오.

MEMS 센서는 미세전자기계시스템으로, 작은 크기와 고속 응답 속도를 특징으로 합니다. 기본 원리는 미세 제작된 구조물(저항, 압력판, 진동막 등) 내부에 센서 재료를 배치하여 물리적 또는 화학적 신호를 감지하는 것에 있습니다. 예를 들어, 가속도 센서는 이동체의 가속도를 측정할 때 내부의 질량과 스프링 구조가 함께 진동하는 특성을 이용하며, 이동 시 질량이 움직이면서 전기적 신호로 변환됩니다. 이러한 센서들은 미세 가공 기술인 배이오눔(Bałylnum) 또는 소라노이드(Silicon) 미세공정을 통해 제작되며, 일반적으로 10~100마이크로미터 크기입니다. 센서의 작동 원리는 전기적 또는 광학적 검출 방식을 활용하며, 예를 들어 압력 센서는 압력을 받으면 내부 구조가 변형되어 저항 또는 축전 용량이 변하고, 이를 신호로 읽어냅니다. 에어백 충격 감지시스템), 의료용 초음파 탐지기, 산업 자동화 분야 등에서 실시간으로 빠른 응답과 높은 정밀도를 보여주는 사례가 많아, 2020년 기준 전 세계 시장 규모는 약 70억 달러에 달하는 것으로 조사됩니다. 이러한 기술은 높은 신뢰성과 작은 크기를 갖추…