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1. SK실트론의 클린룸 환경 관리에 있어서 중요한 요소는 무엇이라고 생각하십니까
SK실트론의 클린룸 환경 관리에서 가장 중요한 요소는 청정도 유지와 온도, 습도, 압력 농도 조절입니다. 클린룸은 0. 1마이크로미터 이하의 먼지 및 입자 농도를 최소화하는 것이 핵심이며, 이를 위해 HEPA 필터와 ULPA 필터를 적절히 배치하여 먼지 유입을 차단합니다. 실내 공기 오염도는 ISO Class 1 수준을 유지하며, 이는 1㎥당 10개 이하의 먼지 입자를 의미합니다. 이를 위해 하루 평균 공기순환율은 20회 이상을 보장하며, 정기적인 헬리온 검사와 필터 교체 주기는 6개월마다 수행됩니다. 또한 온도는 22~24도, 습도는 45~55%로 엄격히 관리되며, 온도 차이와 습도 변화는 0. 2도, 2% 이내로 통제됩니다. 이와 함께 공기 흐름을 일정하게 유지하기 위해 공조 시스템이 24시간 가동되고, 무균 상태를 유지하기 위한 무균화 및 소독 세척이 분 단위로 이뤄집니다. 이러한 엄격한 환경 관리는 반도체 제조 품질을 결정짓는 핵심 요인으로, 결함률을 0. 2% 낮추는 데 기여하며, 불량률을 통계적으로 15% 이상 개선하는 성과를 보여줍니다.
2. 공정 장비의 클린룸 내 유지보수 시…