본문/내용
1. SK넥실리스 박막 제조공정에 대해 어떤 이해를 가지고 계신가요
SK넥실리스의 박막 제조공정은 주로 증착, 세척, 증착 두 번째 단계, 열처리, 검사 및 품질관리로 이루어져 있으며, 이를 통해 일관된 두께와 균일성을 유지하는 것이 중요시됩니다. 증착 공정에서는 CVD(화학기상증착)와 PVD(물리기상증착) 기술을 활용하여 나노미터 수준의 박막 두께를 정밀하게 제어하며, 이를 통해 10nm 이하의 두께 편차를 최소화하는데 성공한 경험이 있습니다. 열처리 단계에서는 고온 열처리를 통해 박막의 결정 품질과 접합 강도를 향상시키며, 통상 700°C 이상의 온도에서 1시간 이상 가열하여 박막의 내부 결함을 줄입니다. 공정 동안 정기적인 두께 검사와 표면 품질 검사를 수행하며, 이를 위해 반도체 수준의 계측기와 자동화 검사 시스템을 도입하여 불량률을 0. 1% 이하로 유지하는 성과를 거두었습니다. 또한, 박막의 균일도 확보를 위해 기판 스캐닝 속도와 증착 압력 조절에 세심한 공정을 적용하며, 온도 균일성을 통해 ±2% 이내의 두께 편차를 달성하였으며, 고객사의 제품 수명과 성능 향상에 기여하는 안정적인 제조환경을 구축해 왔습니다.
2. 박…