본문/내용
1. LS메카피온의 제조기술 관련 핵심 공정에 대해 설명해 주세요.
LS메카피온의 제조기술은 핵심 공정으로 고순도 반도체용 실리콘 웨이퍼의 단결정을 생산하는 용융성장 공정과 결정화 공정이 주를 이룹니다. 실리콘 결정 성장 공정에서는 저온 용융과 정밀한 성장 제어를 통해 분말 실리콘의 결정성을 극대화하며 불순물 오염률을 0. 1ppm 미만으로 유지합니다. 성장 단계에서 1단계 성장속도를 0. 5mm/시간으로 조절하여 결정 표면의 평탄도와 내부 결함 밀도를 최소화하며, 이를 통해 결정 결함 밀도를 1×10³/cm² 이하로 낮추어 높은 품질을 확보합니다. 이를 기반으로 최첨단 계측장비와 AI 인공지능 기술을 접목하여 생산 과정에서 발생하는 미세 결함을 실시간 모니터링하며, 수율은 9 7% 이상을 보장하고 있습니다. 또한, 공정 내 온도, 압력, 성장 속도 등 각종 변수들을 수십 차례 설계 검증을 통해 최적화하여 불량률을 0. 2% 미만으로 통제하였으며, 결함 없는 웨이퍼 생산을 위해 지속적으로 공정 개선과 혁신을 추진하여 고객 신뢰를 높이고 있습니다.
2. 품질 관리를 위해 어떤 검사 방법과 절차를 적용하십니까
LS메카피온 제조기…