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1. ASML의 핵심 기술과 패턴링 공정에 대해 설명해보세요.
ASML은 극자외선(EUV) 및 노광기술 분야에서 세계 선두기업으로서, 핵심기술인 노광기술과 광학 시스템이 중요합니다. EUV 패턴링 공정은 1 5nm 파장을 사용하는데, 이는 기존 DUV(Deep Ultraviolet) 기술보다 훨씬 작은 7nm 이하 공정을 가능하게 만듭니다. ASML의 리소그래피 장비는 고정밀 광학 렌즈와 반도체용 나노구조를 만들어내는 첨단 기술인 액티브 광학 제어 시스템을 갖추고 있으며, 광학계에 수백 개의 정밀 렌즈가 조합되어 광선의 왜곡을 최소화하고 균일한 패턴 전사를 가능하게 합니다. EUV 노광을 위한 반도체 공정은 기존 기술보다 2배 이상 높은 해상도와 생산성을 제공하며, 최소 3nm 이하 회로 패턴을 구현하는 데 핵심 역할을 합니다. 패턴링 공정에서는 리소그래피 미세화 속도가 빨라지면서, 투과율 향상 및 오버레이 정밀도(최소 1nm 이하)를 유지하는 것이 중요하며, 이를 위해 ASML은 고유의 스캐닝 및 정렬 기술을 활용합니다. 실제로 EUV 장비는 2023년까지 전 세계 생산량이 200대 이상으로 증가했으며, 반도체 공정의 집적도가 50% 이상 향상되는 성과를 보여주고 있습니다. 이…