본문/내용
1. EUV 설치 작업에서 가장 중요한 안전 수칙은 무엇이라고 생각하십니까
EUV 설치 작업에서 가장 중요한 안전 수칙은 정전 예방과 적절한 개인 보호장구 착용입니다. EUV 장비는 민감하며 정전이 발생할 경우 수천만 원의 장비 손상과 작업 중 화재 발생 가능성이 있기 때문에 정전 안전 절차를 엄격히 준수해야 합니다. NS 단위로 전자기파 방출 차단 조치를 반드시 수행하며, 설치 전에는 모두가 전기 설비의 전원을 철저히 차단한 후, 접지 작업과 전기 오염 방지를 위해 3회 이상 점검을 실시합니다. 개인 보호구로는 방사선 차단용 방호복, 안전 안경, 장갑, 방진 마스크를 착용하며, 특히 EUV 장비 내 초고진공 상태에서 작업할 때는 외부 순수 공기 누설에 의한 오염 방지를 위해 내부 공기 순환 시스템을 점검하는 것도 중요합니다. 작업 중에는 전기 용접이나 용접 기 사용 시 불꽃이나 유해 가스 발생 가능성에 대비하여 소화기와 배기 장치를 항상 대비하고, 작업 공간을 정리정돈하여 넘어짐이나 충돌 사고를 예방해야 합니다. 특히 설치 과정에서 인원 간 커뮤니케이션을 원활하게 유지하고, 작업 시작 전과 후에는 위험요소를 점검하는 안전 체크리스트를 …