본문/내용
1. 반도체 장비의 기본 구조와 작동 원리에 대해 설명해 주세요.
반도체 장비는 웨이퍼를 제작하는 핵심 공정인 포토리소그래피, 식각, 증착, 검사 등을 수행하는 복합기기로 구성되어 있습니다. 기본 구조는 진공 챔버, 노광 장치, 이송 시스템, 가스 및 화학약품 공급 시스템, 제어 컴퓨터로 이루어져 있습니다. 작동 원리는 먼저 웨이퍼는 자동 이송 시스템으로 장비 내부로 이동하며, 진공 챔버 내에서 화학적 또는 물리적 처리 과정을 수행합니다. 포토리소그래피 공정에서는 UV 빛 또는 EUV(극자외선)를 이용하여 회로 패턴을 웨이퍼 상에 전사하며, 노광 시간은 10~100fs 단위로 정밀하게 조절합니다. 식각시에는 산화 실리콘 또는 폴리실리콘 층을 선택적으로 제거하며, 이때 SPC(Spectroscopic Plasma Control) 센서로 공정 조건을 지속적으로 감시합니다. 증착 공정에서는 PVD(물리적 증착) 또는 CVD(화학적 증착)를 통해 박막을 형성하는데, 증착률은 평균 1~5A/sec로 유지됩니다. 2020년 기준으로 반도체 공정 장비의 가동률은 85% 이상이었으며, 장비 내 세척 및 유지보수는 2000회 이상의 사례를 기반으로 정기적으로 수행돼 장비의 불량률을 0. 05% 이하로…