[신소재 공학] SE, BSE 차이점, EDS에 대하여

1. SE(Secondary Electron) 정의 및 원리

SE(Secondary Electron)는 주사전자현미경(SEM)에서 사용하는 검출 방법 중 하나로, 표면 샘플에 고전압으로 가속된 주입 전자(Primary Electron, PE)가 충돌할 때 표면에서 방출되는 2차 전자를 의미한다. 이 2차 전자는 주입된 고에너지 전자가 샘플의 표면에 충돌하면서 표면의 원자들과 상호작용을 하여 에너지가 낮은 전자를 방출하는 현상이다. SE는 주로 표면의 미세구조, 형상, 표면 거칠기 등을 관찰하는 데 사용되며, 표면의 윤곽이나 미세세공, 결함 등을 높은 해상도로 분석할 수 있다. SE의 방출은 표면의 전자 밀도, 표면 재질, 산화 여부 등에 따라 크게 달라지기 때문에 다양한 재질과 표면 상태에서의 차이를 명확히 구분 가능하다. 예를 들어, 금속 표면에서는 SE 수치가 높게 나타나며, 유리나 폴리머 표면은 낮은 SE 수치를 보인다고 알려져 있다. 통계적으로, SEM에서 얻은 이미지는 SE 신호의 강도 및 분포에 따라 해상도가 결정되며, 높은 SE 수치를 가진 곳은 더 밝게 표시되어 1 nm 수준의 표면 세부 구조까지 구분할 수 있다. SE는 전자와 표면 간의 상호작용으로 인해 방출되며, 이 과정에서 방출되는 …