[반도체공정]가스 센서에 대하여(영문)

1. Introduction to Gas Sensors

가스 센서는 공기 중에 존재하는 다양한 가스를 감지하여 농도를 측정하는 장치로서, 현대 산업, 환경 관리, 안전 감독 등 여러 분야에서 중요한 역할을 한다. 특히, 반도체 공정에서는 이 가스 센서가 핵심적인 역할을 담당하며, 제조 공정 내의 순도 유지와 안전성을 확보하는 데 필수적이다. 예를 들어, 반도체 생산 과정에서는 불화수소(HF), 염소 기체(Cl2), 암모니아(NH3) 등의 유해 가스가 발생할 수 있는데, 이 가스들이 누출되거나 농도가 높아질 경우 작업 환경의 안전성과 제품 품질이 위협받는다. 이에 따라 센서는 실시간으로 가스 농도를 감지하여 이상 상황을 조기에 인지할 수 있어, 생산 중단 시간 최소화와 안전 사고 예방에 결정적인 역할을 한다. 현재 전 세계 시장 규모는 2022년에 약 16억 달러 이상에 달하며 연평균 성장률은 약 7%에 이른다. 이는 여러 연구 기업들이 가스 센서의 성능 향상과 저가격화를 추진함에 따른 결과로 볼 수 있다. 또한 가스 센서 유형에는 전기화학식, 광학식, 금속 산화물 반도체(MOS) 센서 등이 있으며, 각각의 기술은 목표 가스의 농도 감지 민감도, 반응 속도, 비용 등에 있어 차이…