[박막공학] LTPS 레포트

1. LTPS 개요

LTPS(Low-Temperature Polycrystalline Silicon)는 저온폴리실리콘 기술로서, 디스플레이 제조에 있어서 중요한 역할을 담당한다. 이 기술은 기존의 저온수소화 실리콘(LTPS) 공정을 이용하여 폴리실리콘 박막을 형성하는 방법으로, 주로 유기발광다이오드(OLED) 디스플레이와 액정 디스플레이(LCD)에서 사용된다. LTPS는 전자 이동도가 높아(일반적으로 100~150cm²/V·s) 낮은 전압에서도 빠른 응답속도를 보여주기 때문에 고해상도 및 고성능 디스플레이에 적합하다. 기존의 아몰픽 실리콘이나 폴리실리콘에 비해 저온에서 제작 가능하며, 공정 온도를 300°C 이하로 유지할 수 있어서 유연하거나 유리 기반의 기판에도 적용이 가능하다. 특히, LTPS는 화면 해상도를 높이고 전력 소모를 줄이는데 큰 기여를 한다. 예를 들어, 글로벌 스마트폰 시장에서 LTPS 기술이 적용된 디스플레이는 2xxx년 이후 매년 15~20%씩 성장했으며, 2023년 기준 시장 점유율은 60% 이상으로 증가하였다. 삼성전자와 LG디스플레이 등 주요 전문 업체들도 LTPS 기반 디스플레이를 양산하며 경쟁력을 확보하고 있다. LTPS 공정은 또한 박막 트랜지스터(TFT)의 채널 …