[기계공학]mems 란

1. MEMS의 정의

MEMS(Micro-Electro-Mechanical Systems)는 미세한 기계 구조와 전자회로가 집적된 소형 시스템으로, 크기 보통 수십 마이크로미터에서 수 밀리미터 범위 내에 존재한다. 이러한 시스템은 센서, 액추에이터, 집적회로 등이 일체형으로 구성되어 있으며, 다양한 산업 분야에서 활용되고 있다. MEMS는 반도체 제조 공정을 기반으로 하여 제작되므로, 광범위한 대량생산이 가능하며 정밀도와 일관성이 높은 특성을 갖춘다. 예를 들어, 스마트폰의 가속도 센서와 자이로스코프는 모두 MEMS 기술을 이용한 대표적인 사례이며, 이로 인해 휴대전화 내에서 자세 제어와 영상 안정화 등 다양한 기능이 가능하다. 글로벌 MEMS 시장은 최근 급성장하고 있으며, 2023년 기준 전 세계 시장 규모는 약 827억 달러에 달하며 매년 약 10%의 성장률을 기록하고 있다. MEMS의 핵심적 특성인 저전력 소비, 고감도 센서화, 콤팩트한 설계는 의료기기(예: 미세혈류 센서), 자동차(예: 에어백 센서), 산업용 로봇 등 다양한 분야에서 수요를 증대시키고 있다. 또, MEMS는 인공위성이나 우주 탐사에서도 활용되며, 극한 환경에서도 안정적인 동작이 가능하도록 설계된 경우가 많다…