[기계] 기계공학과.육굉수교수님의 정밀가공 98년

1. 정밀가공의 개요

정밀가공은 고도의 정밀도와 정확도를 요구하는 가공 방식으로서, 첨단 산업 분야에서 필수적인 기술이다. 정밀가공의 주 목적은 제품의 치수 허용 오차를 최소화하여 작동 성능과 신뢰성을 향상시키는 데 있으며, 일반적으로 1마이크로미터(μm) 이하의 오차를 달성하는 것을 목표로 한다. 이를 위해 다양한 고정밀 가공 방법이 도입되었으며, 대표적으로 정밀 CNC 가공, 연삭, 전극공구 가공 등이 있다. 정밀가공이 중요한 분야 중 하나는 반도체 산업으로, 반도체 칩 제조 공정에서는 0.1마이크로미터 이하의 미세 공정이 필요하며, 이로 인해 수십 년 동안 연속적 기술 발전이 이루어지고 있다. 예를 들어, 1990년대 초반의 반도체 제조에서는 공정 미세화로 인해 치수 오차 범위가 10마이크로미터였던 반면, 2000년대에는 0.1마이크로미터를 목표로 하는 수준으로 진화하였다. 정밀가공에는 다양한 기술이 활용되는데, 그 중 대표적인 것이 초정밀 연삭과 전자빔 가공이다. 특히 초정밀 연삭 기술은 표면 거칠기를 10나노미터 이하로 낮추어 고품질의 제품을 생산하는 데 유용하며, 최근 연구에 따르면 이러한 기술은 반도체, 정밀 기계 부품 등에…