MEMS개론 기말과제

1. MEMS 개요

MEMS(미시전기기시스템)는 미세한 크기의 기계 구조물과 전기적 회로가 결합된 시스템으로, 크기가 수 마이크로미터에서 수 밀리미터 수준에 이른다. MEMS는 미세 공정 기술을 이용해 실리콘과 같은 반도체 재료 위에 제작되며, 센서와 액추에이터 기능을 동시에 수행할 수 있다. 전통적인 기계장치와 비교했을 때 크기가 작고 정밀하며, 동시에 비용 절감과 대량 생산이 가능하다는 장점이 존재한다. 1970년대 말부터 개발이 시작되었으며, 2000년대 이후 스마트폰, 자동차, 의료기기, 산업용 로봇 등 다양한 분야에 활용되고 있다. 특히, MEMS 센서는 스마트폰 카메라의 자동 초점과 흔들림 보정에 광범위하게 적용되고 있으며, 2020년 기준 글로벌 MEMS 센서 시장 규모는 약 200억 달러를 기록하여 연평균 성장률이 8% 이상인 것으로 보고되고 있다. 이는 MEMS 기술이 일상생활과 산업 전반에 빠르게 확산되고 있음을 보여주는 수치다. MEMS는 작은 크기 덕분에 휴대성과 경량화가 가능하며, 에너지 소모가 적어 배터리 수명을 연장하는데 기여한다. 또한, 크고 무거운 기존 기기 대비 빠른 응답속도와 높은 정밀도를 갖추고 있어 의료용 진단 기기, 환경 …