(LCD) Manufacturing Processes

1. LCD 제조 공정 개요

LCD(액정 디스플레이)는 오늘날 가장 널리 사용되는 평면 디스플레이로, 제조 공정은 여러 단계로 구성되어 있으며 높은 정밀도와 엄격한 품질 관리가 요구된다. 먼저 기판 제조 단계에서는 유리기판 또는 플라스틱 기판을 선택하고 정제하는 과정을 거친다. 이때 기판 표면은 미세한 오염물이나 불순물 없이 깨끗하게 처리되어야 하며, 평균 표면 거칠기 값은 0.5nm 이하로 유지된다. 이후 박막 트랜지스터(TFT)의 형성을 위해 증착 공정을 실시하며, 일반적으로 스퍼터링 또는 화학기상증착(CVD) 방식이 사용된다. 이 과정에서 실리콘 산화막, 실리콘 질화막, 그리고 게이트 전극 등이 제작된다. 패터닝 공정에서는 마스크를 이용한 포지티브 및 네거티브 포토리소그래피가 이루어지며, 이후 에칭과 도핑 공정을 통해 회로 구조가 형성된다. 이 단계에서 사용되는 포토레지스트는 평균 두께가 1μm 미만이며, 이를 정밀하게 패터닝하기 위해 20~50nm의 분해능을 가진 노광장비가 사용된다. 이후 화소막 또는 컬러 필터(CF)와 블랙 매트릭스의 형성을 위해 잉크젯 또는 스크린 인쇄, 스퍼터링, 증착 과정이 병행되며, 이 과정에서 광범위한 품질검…