본문/내용
1. EXPERIMENTAL
SNO2 얇은 필름에 대한 실험적 접근은 여러 가지 방법으로 이루어질 수 있다. 본 연구에서는 SNO2 필름의 성질을 최적화하고 그 물성을 분석하기 위한 실험 절차를 자세히 설명한다. 먼저, 시료 준비 단계에서 SNO2의 원료인 스노르 부산물을 과산화 수소와 혼합하여 충분한 농도의 용액을 만든다. 이 용액은 적절한 비율로 가열하여 농도를 일정하게 유지하고, 균일한 필름 형성을 위해 필름 코팅에 적합한 농도로 조절한다. 이후, 기판으로는 일반적으로 Si(100) 또는 유리 기판을 선택하여 준비한다. 기판은 사전에 화학 세척과 초음파 세척을 통해 표면의 불순물을 제거하고, 더 나아가 헹굼 후 건조과정을 거친다. 이러한 기판 준비는 SNO2 얇은 필름의 부착력과 균일성에 큰 영향을 미치기 때문에 중요하다. SNO2 필름 형성 방법으로는 스핀 코팅(spin coating)과 화학 기상 증착(CVD) 방법을 사용한다. 스핀 코팅은 액체 상태의 SNO2 용액을 기판 위에 일정한 속도로 회전시켜 잉여 액체를 제거하고, 필름을 균일하게 형성하는 방식이다. 이 과정에서 회전 속도와 시간이 필름의 두께 조절에 중요한 역할을 한다. 일반적으로 회전 속도를 높이면 필…