º»¹®/³»¿ë
1.Áö¿ø µ¿±â
ÇÑÈÀ̼¾¼ÈÀÇ »ý»ê°ü¸® Á÷¹«¿¡ Áö¿øÇÑ ÀÌÀ¯´Â ¹ÝµµÃ¼ »ê¾÷ÀÇ ÃÖÀü¼±¿¡¼ ±â¼úÀûÀÎ µµÀü°ú Çõ½ÅÀ» °æÇèÇϰí, À̸¦ ÅëÇØ ȸ»ç¿Í ÇÔ²² ¼ºÀåÇϰíÀÚ ÇÏ´Â ¿¸Á ¶§¹®ÀÔ´Ï´Ù. Sputtering °øÁ¤Àº ÃֽŠÀüÀÚ±â±â¿Í ´Ù¾çÇÑ ÀÀ¿ë ºÐ¾ß¿¡¼ ÇʼöÀûÀÎ ¼ÒÀçÀÇ »ý»ê¿¡ ÇÙ½ÉÀûÀÎ ¿ªÇÒÀ» Çϰí ÀÖ½À´Ï´Ù. ÀÌ·¯ÇÑ °øÁ¤ÀÇ È¿À²¼º°ú ǰÁú °³¼±À» À§ÇØ ±â¿©ÇÏ´Â °ÍÀÌ Á¦ Á÷¹« ¸ñÇ¥ÀÔ´Ï´Ù. Àç·á°øÇÐÀ» Àü°øÇÏ¸ç ¿©·¯ °¡Áö ¼ÒÀçÀÇ ¼ºÁú°ú Á¦Á¶ °øÁ¤¿¡ ´ëÇÑ ±íÀº ÀÌÇØ¸¦ ½×¾Ò½À´Ï´Ù. ƯÈ÷ Sputtering °øÁ¤ÀÇ ¿ø¸®¿Í Àû¿ë »ç·Ê¸¦ ÇнÀÇϸé¼, ÀÌ °øÁ¤ÀÌ ¿ì¸®ÀÇ ÀÏ»ó»ýȰ¿¡¼ ¾ó¸¶³ª Áß¿äÇÑÁö¸¦ ±ú´Ý°Ô µÇ¾ú½À´Ï´Ù. À̸¦ ¹ÙÅÁÀ¸·Î, ÇкΠ¿¬±¸ Ȱµ¿ µ¿¾È Sputtering ±â¼úÀ» ÀÌ¿ëÇÑ ¹Ú¸· Çü¼º ½ÇÇèÀ» ÁøÇàÇÏ¸ç ½Ç¹«ÀûÀÎ °æÇèÀ» ½×¾Ò½À´Ï´Ù. ÀÌ °æÇèÀº °øÁ¤ÀÌ ½ÇÁ¦·Î ¾î¶»°Ô ÀÛµ¿ÇÏ´ÂÁö, ±×¸®°í ÀÌ °úÁ¤À» ÃÖÀûÈÇϱâ À§ÇØ ¾î¶² ¿ä¼ÒµéÀÌ Áß¿äÇÑÁö¿¡ ´ëÇØ¼ ±íÀÌ ÀÖ´Â ÅëÂûÀ» ÁÖ¾ú½À´Ï´Ù. ¶ÇÇÑ, ÀÎÅϽÊÀ» ÅëÇØ »ý»ê °ü¸®ÀÇ Á߿伺À» ½Ç°¨ÇÏ°Ô µÇ¾ú½À´Ï´Ù. ÇöÀå¿¡¼ÀÇ °æÇèÀ» ÅëÇØ ǰÁú °ü¸®, »ý»ê °èȹ, °øÁ¤ ÃÖÀûÈÀÇ Çʿ伺À» üµæÇÏ¿´°í, ÆÀ¿øµé°úÀÇ Çù·ÂÀ» ÅëÇØ ¹®Á¦¸¦ ÇØ°áÇÏ´Â °úÁ¤ÀÌ ¾ó¡¦(»ý·«)