º»¹®/³»¿ë
1.Áö¿ø µ¿±â
ȸ»çÀÇ ºñÀü°ú ¹ßÀü °¡´É¼ºÀÌ Àú¸¦ ¸Å·á½ÃÄ×½À´Ï´Ù. ¹ÝµµÃ¼ »ê¾÷Àº ±â¼ú ¹ßÀü°ú ÇÔ²² ¸Å³â ºü¸£°Ô º¯ÈÇϰí ÀÖÀ¸¸ç, Ãֽбâ¼ú°ú Àåºñ°¡ ¿ä±¸µÇ´Â ºÐ¾ßÀÔ´Ï´Ù. ÀÌ·¯ÇÑ È¯°æ¿¡¼ ÀÏÇÏ´Â °ÍÀº µµÀüÀûÀ̸鼵µ º¸¶÷ ÀÖ´Â °æÇèÀÌ µÉ °ÍÀÔ´Ï´Ù. ƯÈ÷, EUV(±ØÀڿܼ±) ±â¼úÀº ¾ÕÀ¸·ÎÀÇ ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶¿¡ ÀÖ¾î ÇÙ½ÉÀûÀÎ ¿ªÇÒÀ» ÇÒ °ÍÀ¸·Î ¿¹»óµË´Ï´Ù. ÀÌ ±â¼úÀº °íÇØ»óµµ ÆÐÅÏÀ» ±¸ÇöÇÏ´Â µ¥ Ź¿ùÇÑ ´É·ÂÀ» °¡Áö°í ÀÖÀ¸¸ç, ÀÌ´Â ¹Ì·¡ÀÇ ÀüÀÚ±â±â¿Í µðÁöÅÐ Çõ½ÅÀ» À̲ø¾î°¡´Â µ¥ Áß¿äÇÑ ¿ä¼Ò°¡ µÉ °ÍÀÔ´Ï´Ù. ÀÌ·¯ÇÑ Çõ½ÅÀÇ Á߽ɿ¡ ¼°í ½Í´Ù´Â ¿¸ÁÀÌ Àú¸¦ ÀÌ ÀÚ¸®¿¡ Áö¿øÇÏ°Ô ¸¸µé¾ú½À´Ï´Ù. ±â¼ú¿¡ ´ëÇÑ ±íÀº °ü½É°ú ÇÔ²² ¹®Á¦¸¦ ÇØ°áÇÏ´Â µ¥ ÇÊ¿äÇÑ ´Ù¾çÇÑ ±â¼úÀû °æÇèÀ» °¡Áö°í ÀÖ½À´Ï´Ù. ÀÌÀüÀÇ °æ·Â¿¡¼ ´Ù¾çÇÑ ±â°è¿Í Àåºñ¸¦ ´Ù·é °æÇèÀÌ ÀÖÀ¸¸ç, ÀÌ·¯ÇÑ °æÇèÀ» ÅëÇØ ÇöÀå¿¡¼ ¹ß»ýÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ´Ù¾çÇÑ ¹®Á¦¸¦ ÇØ°áÇÏ´Â ´É·ÂÀ» ±â¸¦ ¼ö ÀÖ¾ú½À´Ï´Ù. ¶ÇÇÑ, °í°´°úÀÇ ¿øÈ°ÇÑ ¼ÒÅëÀ» ÅëÇØ ÇöÀå ¼ºñ½ºÀÇ Ç°ÁúÀ» ³ôÀÌ´Â ¿ªÇÒµµ ÇØ¿Ô½À´Ï´Ù. ÀÌ·¯ÇÑ °æÇèÀº Áö¿øÇÑ Æ÷Áö¼ÇÀ» ¼öÇàÇÏ´Â µ¥ Å« µµ¿òÀÌ µÉ °ÍÀ¸·Î È®½ÅÇÕ´Ï´Ù. EUV Àåºñ´Â °íµµ·Î Á¤¹ÐÇÑ ±â°èÀ̱⠶§¹®¿¡, ¼¼½ÉÇÑ ¡¦(»ý·«)