º»¹®/³»¿ë
1.Áö¿ø µ¿±â
MOCVD ¿¡ÇǰøÁ¤ÀÇ ºÐ¾ß¿¡ °ü½ÉÀ» °¡Áö°Ô µÈ °ÍÀº °íµîÇб³ ½ÃÀýºÎÅÍ ¹ÝµµÃ¼¿Í ³ª³ë±â¼ú¿¡ ´ëÇÑ ´Ù¾çÇÑ °úÇÐ ±³°ú¼¸¦ ÀÐÀ¸¸é¼¿´½À´Ï´Ù. ÀÌ °úÁ¤¿¡¼ ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤ÀÌ ¾ó¸¶³ª Á¤±³ÇÏ°í º¹ÀâÇÑÁö¸¦ ÀÌÇØÇÏ°Ô µÇ¾ú°í, ÀÌ´Â Àú¿¡°Ô Å« Èï¹Ì¿Í µµÀüÀǽÄÀ» ¾È°å½À´Ï´Ù. ƯÈ÷ MOCVD °øÁ¤Àº °íǰÁúÀÇ ¹Ú¸·À» Çü¼ºÇÏ´Â µ¥ Áß¿äÇÑ ¿ªÇÒÀ» Çϸç, ´Ù¾çÇÑ ÀÀ¿ë ºÐ¾ß°¡ ÀÖ´Ù´Â Á¡¿¡¼ ¸Å·ÂÀ» ´À²¼½À´Ï´Ù. ´ëÇп¡¼´Â ¹°¸®ÇÐÀ» Àü°øÇÏ¸é¼ ¹ÝµµÃ¼ ¹°ÁúÀÇ ¹°¸®Àû ¼ºÁú ¹× À̵éÀ» Ȱ¿ëÇÑ ´Ù¾çÇÑ ÀÀ¿ë ±â¼ú¿¡ ´ëÇØ ±íÀÌ ÀÖ´Â ÇнÀÀ» ÁøÇàÇÏ¿´½À´Ï´Ù. À̸¦ ÅëÇØ MOCVD °øÁ¤ÀÇ ¿ø¸®¿Í È帧À» ÀÌÇØÇϰí, ÀÌ·ÐÀû Áö½ÄÀ» ±â¹ÝÀ¸·Î ´Ù¾çÇÑ ½ÇÇè°ú ÇÁ·ÎÁ§Æ®¿¡ Âü¿©ÇÏ¿© ½ÇÁ¦ °øÁ¤¿¡ ´ëÇÑ °æÇèÀ» ½×¾Ò½À´Ï´Ù. ½ÇÇè½Ç¿¡¼ÀÇ ¿¬±¸ °æÇèÀº ½ÇÁ¦ °øÁ¤À» ÀÌÇØÇÏ´Â µ¥ ¸¹Àº µµ¿òÀÌ µÇ¾ú°í, ÀÌ ºÐ¾ß¿¡¼ÀÇ Áø·Î¿¡ ´ëÇÑ È®½ÅÀ» ºÒ¾î³Ö¾î ÁÖ¾ú½À´Ï´Ù. ¶ÇÇÑ, ³ª³ë±â¼ú¿¡ ´ëÇÑ ¿¬±¸°¡ Çö´ë »ê¾÷°ú ±â¼ú ¹ßÀü¿¡ ÇʼöÀûÀÎ ¿ªÇÒÀ» ÇÑ´Ù´Â °ÍÀ» ±ú´Ý°Ô µÇ¾ú½À´Ï´Ù. ³ª³ë±â¼úÀÇ ¹ßÀüÀº ÀüÀÚ±â±â¿Í Åë½Å±â¼ú, ¿¡³ÊÁö »ê¾÷ µî ´Ù¾çÇÑ ºÐ¾ß¿¡ Çõ½ÅÀ» °¡Á®¿À°í ÀÖÀ¸¸ç, MOCVD °øÁ¤Àº ±× Á߽ɿ¡¼ ¼ÒÀڷμÀÇ ¼º¡¦(»ý·«)