º»¹®/³»¿ë
1.Áö¿ø µ¿±â
Çѱ¹±âÃʰúÇÐÁö¿ø¿¬±¸¿ø¿¡¼ Á¦°øÇÏ´Â FIB ¹× SEM ºÐ¼® Áö¿ø°ú °ü·ÃµÈ ¿¬±¸¿¡ Áö¿øÇÏ°Ô µÈ ÀÌÀ¯´Â °úÇбâ¼úÀÇ ¹ßÀü°ú ±âÃʰúÇÐ ¿¬±¸ÀÇ Á߿伺À» ±íÀÌ ÀÌÇØÇÏ°Ô µÇ¾ú±â ¶§¹®ÀÔ´Ï´Ù. ±âÃʰúÇÐÀº ¿©·¯ ÀÀ¿ë ºÐ¾ßÀÇ Åä´ë¸¦ ±¸ÃàÇϰí ÀÖ´Â ¸¸Å, ¼¼¹ÐÇÑ ºÐ¼®°ú ¿¬±¸°¡ ÇʼöÀûÀ̶ó°í »ý°¢ÇÕ´Ï´Ù. ƯÈ÷ FIB¿Í SEM ±â¼úÀº ¹Ì¼¼±¸Á¶¸¦ Á¤¹ÐÇÏ°Ô ºÐ¼®ÇÒ ¼ö ÀÖ´Â µµ±¸·Î, ´Ù¾çÇÑ ¹°ÁúÀÇ Æ¯¼ºÀ» ÀÌÇØÇÏ°í »õ·Î¿î ¹ß°ßÀ» À̲ø¾î³¾ ¼ö ÀÖ´Â Áß¿äÇÑ ÀåºñÀÔ´Ï´Ù. ÀÌ·¯ÇÑ ºÐ¼® ±â¼ú¿¡ ´ëÇÑ ÀÌÇØ¿Í °æÇèÀ» ½×°íÀÚ ÇкΠ½ÃÀýºÎÅÍ °ü·Ã ºÐ¾ß¿¡ ¸¹Àº °ü½ÉÀ» °®°í ¿©·¯ ÇÁ·ÎÁ§Æ®¿¡ Âü¿©ÇؿԽÀ´Ï´Ù. ½ÇÇè½Ç¿¡¼ FIB¿Í SEM Àåºñ¸¦ Ȱ¿ëÇÑ ÇÁ·ÎÁ§Æ®¸¦ ÅëÇØ ¹Ì¼¼±¸Á¶¸¦ °üÂûÇϰí, µ¥ÀÌÅ͸¦ ºÐ¼®ÇÏ´Â °úÁ¤¿¡¼ ÇØ´ç ±â¼úÀÇ °·ÂÇÔ°ú À¯¿ë¼ºÀ» ¸ö¼Ò üÇèÇß½À´Ï´Ù. ÀÌ·¯ÇÑ °æÇèÀº ³ª¿¡°Ô °úÇаú ±â¼úÀÇ Á¢¸ñ, ±×¸®°í ½ÇÇè °á°úÀÇ Á߿伺À» ¹è¿ì°Ô Çß½À´Ï´Ù. ¶ÇÇÑ, Çѱ¹±âÃʰúÇÐÁö¿ø¿¬±¸¿øÀÌ °¡Áø ´Ù¾çÇÑ ¿¬±¸ ÀÎÇÁ¶ó¿Í ¿ì¼öÇÑ Àü¹®°¡µéÀÇ Áöµµ ¾Æ·¡¿¡¼ ¿¬±¸¿¡ ÀÓÇÑ´Ù¸é, º¸´Ù ½ÉÃþÀûÀÎ ¿¬±¸¸¦ ÇÒ ¼ö ÀÖÀ» °ÍÀ̶ó´Â È®½ÅÀÌ »ý°å½À´Ï´Ù. Ç×»ó »õ·Î¿î °æ·Î¸¦ Ž»öÇϰí,ÀÇ ¿µ¿ª¿¡ µµÀüÇÏ´Â °ÍÀ»¡¦(»ý·«)