º»¹®/³»¿ë
1.Áö¿ø µ¿±â
Çϳª¸ÓƼ¸®¾óÁîÀÇ SiC ºÐ¾ß¿¡ Áö¿øÇÏ°Ô µÈ ÀÌÀ¯´Â ±â¼ú Çõ½Å°ú Áö¼Ó °¡´ÉÇÑ ¹ßÀü¿¡ ´ëÇÑ ¿Á¤ ¶§¹®ÀÔ´Ï´Ù. ¹ÝµµÃ¼ »ê¾÷Àº ÇöÀç ºü¸£°Ô º¯ÈÇϰí ÀÖÀ¸¸ç, ƯÈ÷ SiC´Â °í¿Â ¹× °íÀü¾Ð ¾ÖÇø®ÄÉÀ̼ǿ¡¼ÀÇ ¼º´ÉÀ» Çõ½ÅÀûÀ¸·Î Çâ»ó½ÃŰ´Â Áß¿äÇÑ ¼ÒÀç·Î ÁÖ¸ñ¹Þ°í ÀÖ½À´Ï´Ù. SiCÀÇ Æ¯¼ºÀº Àü·Â È¿À²¼ºÀ» ±Ø´ëÈÇϰí, ȯ°æÀûÀ¸·Î ´õ ³ªÀº ¼Ö·ç¼ÇÀ» Á¦°øÇϸç, Àü ¼¼°èÀûÀÎ ¿¡³ÊÁö ¹®Á¦ ÇØ°á¿¡ ±â¿©ÇÕ´Ï´Ù. ÀÌ·¯ÇÑ º¯È¿¡ ±â¿©ÇÏ°í ½Í´Ù´Â °ÇÑ ÀÇÁö°¡ ÀÖ½À´Ï´Ù. ´ëÇÐ ½ÃÀý ÀüÀÚ°øÇÐÀ» Àü°øÇÏ¸é¼ ¹ÝµµÃ¼ÀÇ ±âº» ¿ø¸®¿Í ¼ÒÀçÀÇ Á߿伺À» ±íÀÌ ÀÌÇØÇÏ°Ô µÇ¾ú½À´Ï´Ù. ÀÌ °úÁ¤À» ÅëÇØ ¹ÝµµÃ¼ ¼ÒÀç°¡ ¾î¶»°Ô ÃÖÁ¾ Á¦Ç°ÀÇ ¼º´ÉÀ» Á¿ìÇÏ´ÂÁö¸¦ ±ú´Þ¾Ò½À´Ï´Ù. ƯÈ÷ SiCÀÇ ¶Ù¾î³ ¿Àüµµ¼º°ú Àü¾Ð ³»±¸¼º¿¡ ´ëÇÑ ¿¬±¸¸¦ ÁøÇàÇϸé¼, ÀÌ ¼ÒÀç°¡ ÀÌ·ç¾î³¾ ¼ö ÀÖ´Â ¹«ÇÑÇÑ °¡´É¼º¿¡ ¸Å·áµÇ¾ú½À´Ï´Ù. ±× °á°ú, SiC ¼ÒÀ縦 Ȱ¿ëÇÑ Çõ½ÅÀûÀÎ Á¦Ç° °³¹ß¿¡ ±â¿©ÇÏ°í ½Í´Ù´Â ¸ñÇ¥¸¦ °®°Ô µÇ¾ú½À´Ï´Ù. Çϳª¸ÓƼ¸®¾óÁî°¡ ±Û·Î¹ú ½ÃÀå¿¡¼ SiC ±â¼úÀ» ¼±µµÇϰí ÀÖÀ½À» ¾Ë°Ô µÇ¾ú°í, ÀÌ È¸»çÀÇ ºñÀü°ú °¡Ä¡°üÀÌ ¸ñÇ¥¿Í ÀÏÄ¡ÇÑ´Ù°í ´À²¼½À´Ï´Ù. °íǰÁú SiC ¼ÒÀ縦 ÅëÇØ °í°´ÀÇ ¿ä±¸¸¦ ÃæÁ·½Ã¡¦(»ý·«)