º»¹®/³»¿ë
1.Áö¿ø µ¿±â
Çϳª¸ÓƼ¸®¾óÁîÀÇ SiC °³¹ßǰ °ü¸® Á÷¹«¿¡ Áö¿øÇÏ°Ô µÈ °ÍÀº ¹ÝµµÃ¼ »ê¾÷ÀÌ ¹Ì·¡ÀÇ ±â¼ú Çõ½ÅÀ» À̲ô´Â ÇÙ½É ºÐ¾ß¶ó°í »ý°¢Çϱ⠶§¹®ÀÔ´Ï´Ù. SiC´Â Àü·Â ÀüÀÚ ¼ÒÀÚÀÇ ÁßÃßÀûÀÎ ¿ªÇÒÀ» Çϸç, °í¿Â, °íÀü¾Ð, °íÁÖÆÄÀÇ Æ¯¼ºÀ» Áö´Ï°í ÀÖ¾î Â÷¼¼´ë ¿¡³ÊÁö È¿À²ÀûÀÎ ÀåÄ¡¿¡¼ Áß¿äÇÑ ¼ÒÀç·Î ÀÚ¸®Àâ°í ÀÖ½À´Ï´Ù. ÀÌ·¯ÇÑ ±â¼úÀû Ư¼ºÀ» ÅëÇØ ģȯ°æ ¿¡³ÊÁö ½Ã½ºÅÛÀ̳ª Àü±âÂ÷¿Í °°Àº ´Ù¾çÇÑ ÀÀ¿ë ºÐ¾ß¿¡¼ »ç¿ëµÉ ¼ö ÀÖ´Â °¡´É¼ºÀ» º¸À¯Çϰí ÀÖ½À´Ï´Ù. ÀÌ·¯ÇÑ È帧 ¼Ó¿¡¼ SiC ¼ÒÀ縦 °³¹ßÇÏ°í °ü¸®ÇÏ´Â ÀÏÀÌ ¾ó¸¶³ª Áß´ëÇÑ Ã¥ÀÓÀÎÁö¸¦ ÀνÄÇϰí ÀÖ½À´Ï´Ù. ÇкΠ½ÃÀý, ¹ÝµµÃ¼ ¹°¸®Çаú °øÁ¤ ±â¼úÀ» ½Éµµ ÀÖ°Ô °øºÎÇϸç ÀÌ ºÐ¾ß¿¡ ´ëÇÑ ±íÀº Èï¹Ì¸¦ ´À²¼½À´Ï´Ù. ¶ÇÇÑ, ¿©·¯ ÇÁ·ÎÁ§Æ®¸¦ ÅëÇØ SiCÀÇ ¹°¼º ¿¬±¸ ¹× ÀÀ¿ëÀ» ´Ù·ç¾ú´ø °æÇèÀÌ ÀÖ½À´Ï´Ù. ±× °úÁ¤¿¡¼ SiCÀÇ Æ¯¼º°ú ÀÀ¿ë °¡´É¼ºÀ» ÀÌÇØÇϰí, À̸¦ ÅëÇØ »ê¾÷¿¡ ±â¿©ÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ±æÀÌ ¹«¾ùÀÎÁö °í¹ÎÇÏ°Ô µÇ¾ú½À´Ï´Ù. ÀÌ °æÇèÀº ´Ü¼øÇÑ ÀÌ·ÐÀû Áö½ÄÀÌ ¾Æ´Ñ ½ÇÁ¦ ÀÀ¿ë °¡´É¼ºÀ» ¿°µÎ¿¡ µÐ °³¹ß¿¡ ´ëÇÑ È®°íÇÑ ÀÇÁö¸¦ ½É¾îÁÖ¾ú½À´Ï´Ù. Çϳª¸ÓƼ¸®¾óÁîÀÇ Çõ½ÅÀûÀÎ ±â¼ú·Â°ú Áö¼Ó °¡´ÉÇÑ °³¹ß¿¡ ´ëÇÑ ºñÀüÀº Àú¿¡°Ô ¸¹Àº¡¦(»ý·«)