º»¹®/³»¿ë
1.Áö¿ø µ¿±â
¹ÝµµÃ¼ CMP Àåºñ Á¦Á¶ ºÐ¾ß¿¡ Áö¿øÇÑ ÀÌÀ¯´Â ÀÌ ±â¼úÀÌ ¹ÝµµÃ¼ »ê¾÷¿¡¼ ÇÙ½ÉÀûÀÎ ¿ªÇÒÀ» Çϰí Àֱ⠶§¹®ÀÔ´Ï´Ù. CMP´Â ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶ °øÁ¤ Áß Áß¿äÇÑ ´Ü°è·Î, ¿þÀÌÆÛ Ç¥¸éÀ» ÆòźÈÇÏ¿© ÈÄ¼Ó °øÁ¤ÀÇ Á¤È®¼º°ú ǰÁúÀ» ±Ø´ëÈÇÏ´Â µ¥ ±â¿©ÇÕ´Ï´Ù. ÀÌ·¸°Ô Áß¿äÇÑ ±â¼ú¿¡ Âü¿©ÇÏ°Ô µÈ´Ù¸é, ÀÚ½ÅÀÇ ±â¼ú·Â°ú âÀÇ·ÂÀ» ¹ßÈÖÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ±âȸ°¡ µÉ °ÍÀ̶ó°í È®½ÅÇÕ´Ï´Ù. ´ëÇп¡¼ ÀüÀÚ°øÇÐÀ» Àü°øÇÏ¸é¼ ¹ÝµµÃ¼¿Í °ü·ÃµÈ ¿©·¯ °ú¸ñÀ» ÅëÇØ CMP °øÁ¤ÀÇ ¿ø¸®¿Í Á߿伺À» ±íÀÌ ÀÌÇØÇÏ°Ô µÇ¾ú½À´Ï´Ù. ½ÇÇè°ú ÇÁ·ÎÁ§Æ®¸¦ ÅëÇØ CMP ÀåºñÀÇ ±âÃÊÀûÀÎ ÀÛµ¿ ¿ø¸®¿Í °øÁ¤ Á¶°Ç¿¡ ´ëÇÑ ÀÌÇØ¸¦ ³ôÀÏ ¼ö ÀÖ¾ú°í, ÀÌ·± °æÇèÀº ½ÇÁ¦ »ê¾÷ ÇöÀå¿¡¼ ÇÊ¿äÇÑ ½Ç¹« ´É·ÂÀ» Ű¿ì´Â µ¥ Å« µµ¿òÀÌ µÇ¾ú½À´Ï´Ù. ÀÌ °úÁ¤¿¡¼ CMP ±â¼úÀÇ ¹ßÀü ¹æÇâ°ú È¿À²¼º Çâ»óÀ» À§ÇÑ ¿¬±¸¿¡´Â Å« Èï¹Ì¿Í ¸Å·ÂÀ» ´À²¼½À´Ï´Ù. CMP Àåºñ Á¦Á¶´Â °íµµÀÇ ±â¼ú·Â°ú Á¤¹ÐÇÔÀÌ ¿ä±¸µÇ¸ç, ÀÌ´Â °ð ¹ÝµµÃ¼ Á¦Ç°ÀÇ Ç°Áú¿¡ Á÷°áµË´Ï´Ù. ÀÌ·¯ÇÑ Á¡¿¡¼ ÄÉÀ̾¾ÅØÀÇ Çõ½ÅÀûÀÎ ±â¼ú·Â°ú ¶Ù¾î³ ¿¬±¸ °³¹ß ¿ª·®¿¡ ±íÀº ÀλóÀ» ¹Þ¾Ò½À´Ï´Ù. ÄÉÀ̾¾ÅØÀº °í¼º°ú ¿ÍÀÌ¾î º»µå, Æú¸®½Ì Àåºñ µî ºÐ¾ß¿¡¼ µÎ°¢À» ³ªÅ¸³»°í ÀÖÀ¸¸ç, ÀÌ¡¦(»ý·«)