º»¹®/³»¿ë
1.Áö¿ø µ¿±â
¹ÝµµÃ¼ CMP¿ë ½½·¯¸® °³¹ß¿¡ ±íÀº °ü½ÉÀ» °¡Áö°í ÀÖ½À´Ï´Ù. Çö´ë »çȸ¿¡¼ ¹ÝµµÃ¼´Â ¸ðµç ÀüÀÚ±â±âÀÇ ÇÙ½É ºÎǰÀ¸·Î ¿ªÇÒÀ» Çϸç, ±× Á߿伺Àº ³¯·Î Áõ°¡Çϰí ÀÖ½À´Ï´Ù. ÀÌ¿Í °°Àº ½Ã´ëÀû È帧 ¼Ó¿¡¼ CMP °øÁ¤Àº ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶ÀÇ Ç°Áú°ú ¼º´ÉÀ» °áÁ¤Áþ´Â Áß¿äÇÑ ´Ü°è·Î ÀÚ¸® Àâ°í ÀÖ½À´Ï´Ù. CMP °øÁ¤¿¡¼ »ç¿ëµÇ´Â ½½·¯¸®´Â ¹ÝµµÃ¼ ¼ÒÀÚÀÇ Ç¥¸é Æòźµµ¸¦ ³ôÀÌ°í ºÒ¼ø¹°À» Á¦°ÅÇÏ´Â µ¥ ÇʼöÀûÀÎ ¿ä¼ÒÀ̸ç, °í°´ÀÇ ¿ä±¸¿¡ ¸ÂÃá ÃÖÀûÀÇ Á¦Ç° °³¹ßÀÌ ÇÊ¿äÇÏ´Ù°í »ý°¢ÇÕ´Ï´Ù. ´ëÇб³¿¡¼ ÈÇаøÇÐÀ» Àü°øÇÏ¸ç ¼ÒÀç °úÇаú Àç·á °øÁ¤¿¡ ´ëÇÑ ±íÀº ÀÌÇØµµ¸¦ ½×¾Æ¿Ô½À´Ï´Ù. Çо÷ °úÁ¤ Áß ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶ °øÁ¤¿¡ ´ëÇÑ ¿¬±¸ ÇÁ·ÎÁ§Æ®¿¡ Âü¿©ÇÑ °æÇèÀÌ ÀÖ¾î CMP¿ë ½½·¯¸®¿¡ ´ëÇØ ±¸Ã¼ÀûÀ¸·Î ¹è¿ï ¼ö ÀÖ¾ú½À´Ï´Ù. ÀÌ °æÇèÀ» ÅëÇØ ½½·¯¸®ÀÇ ¼ººÐ°ú Ư¼ºÀÌ CMP °øÁ¤¿¡¼ ¾î¶»°Ô ÀÛ¿ëÇÏ´ÂÁö¸¦ ÀÌÇØÇÏ°Ô µÇ¾ú°í, ÀÌ·¯ÇÑ ±â¼úÀÌ ¹ßÀüÇÔ¿¡ µû¶ó ¹ÝµµÃ¼ »ê¾÷ÀÇ ÆÐ·¯´ÙÀÓÀÌ ¾î¶»°Ô º¯ÈÇÏ´ÂÁö¸¦ ½Ç°¨ÇÒ ¼ö ÀÖ¾ú½À´Ï´Ù. ¶ÇÇÑ, ´Ù¾çÇÑ ½ÇÇèÀ» ÅëÇØ ½½·¯¸®ÀÇ ¼º´ÉÀ» Æò°¡ÇÏ°í °³¼±ÇÏ´Â ¹æ¹ý¿¡ ´ëÇØ ¿¬±¸ÇÏ¿´°í, À̸¦ ÅëÇØ ½ÇÇè µ¥ÀÌÅ͸¦ ºÐ¼®ÇÏ°í °á°ú¸¦ µµÃâÇÏ´Â ´É·ÂÀ» ±æ·¶½À´Ï´Ù. ÀÌ·¯¡¦(»ý·«)