º»¹®/³»¿ë
1.Áö¿ø µ¿±â
ÄÉÀ̾¾ÅØÀÇ SiC ¹× CVD »ý»ê ºÐ¾ß¿¡ Áö¿øÇÑ ÀÌÀ¯´Â ÀÌ ºÐ¾ßÀÇ ±â¼úÀû Çõ½Å°ú ¹Ì·¡ ¼ºÀå °¡´É¼º¿¡ ¸Å·ÂÀ» ´À²¼±â ¶§¹®ÀÔ´Ï´Ù. SiC´Â Àü·Â ¹ÝµµÃ¼ ¹× ÀüÀÚ±â±â¿¡¼ Áß¿äÇÑ ¿ªÇÒÀ» Çϰí ÀÖÀ¸¸ç, ¿¡³ÊÁö È¿À²¼ºÀ» °³¼±ÇÏ°í °í¿Â ȯ°æ¿¡¼µµ ¾ÈÁ¤ÀûÀÎ ¼º´ÉÀ» ¹ßÈÖÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ¶Ù¾î³ Ư¼ºÀ» Áö´Ï°í ÀÖ½À´Ï´Ù. ÀÌ·¯ÇÑ ±â¼úÀº Àü±âÂ÷, ž籤, dz·Â µî Áö¼Ó °¡´ÉÇÑ ¿¡³ÊÁö ½Ã½ºÅÛÀÇ ¹ßÀü¿¡ ÀÖ¾î¼ ÇʼöÀûÀÎ ¿ä¼Ò·Î ÀÚ¸®Àâ°í ÀÖ½À´Ï´Ù. ÄÉÀ̾¾ÅØÀº ÀÌ·¯ÇÑ SiC ±â¼úÀÇ ¼±µÎ ÁÖÀڷμ, ÷´Ü ±â¼ú°ú »ý»ê ´É·ÂÀ» °âºñÇÑ ±â¾÷ÀÔ´Ï´Ù. ÄÉÀ̾¾ÅØ¿¡ ÀÔ»çÇϰíÀÚ ÇÏ´Â ÀÌÀ¯´Â ÀÌ·¯ÇÑ ¼±µµÀûÀÎ ±â¼ú °³¹ß¿¡ Âü¿©Çϰí, Á¦ Àü¹®¼ºÀ» ÅëÇØ ȸ»çÀÇ ¼ºÀå¿¡ ±â¿©ÇÏ°í ½Í±â ¶§¹®ÀÔ´Ï´Ù. ´ëÇб³¿¡¼ Àç·á°øÇÐÀ» Àü°øÇÏ¸ç ¹ÝµµÃ¼¿Í °ü·ÃµÈ ´Ù¾çÇÑ ½ÇÇè°ú ¿¬±¸¿¡ Âü¿©ÇÑ °æÇèÀÌ ÀÖ½À´Ï´Ù. ÀÌ °úÁ¤¿¡¼ SiC Àç·áÀÇ Æ¯¼ºÀ» ºÐ¼®Çϰí, CVD °øÁ¤¿¡ ´ëÇØ ½Éµµ ±íÀº ÇнÀÀ» ÇÒ ¼ö ÀÖ¾ú½À´Ï´Ù. À̷аú ½Ç¹«°èÀÇ °áÇÕÀº Àú¿¡°Ô ¸¹Àº ÅëÂûÀ» ÁÖ¾ú°í, ±â¼ú ¹ßÀüÀÇ Çʿ伺°ú ¹æÇ⼺À» ÀÌÇØÇÏ´Â µ¥ Å« µµ¿òÀÌ µÇ¾ú½À´Ï´Ù. ÄÉÀ̾¾ÅØÀÇ Çõ½ÅÀûÀÎ ¿¬±¸½Ç°ú »ý»ê¶óÀο¡¼ ÀÏÇÏ¸ç ½ÇÁúÀûÀÎ ±â¼ú °³¹ß¿¡ ±â¿©ÇÏ¡¦(»ý·«)