º»¹®/³»¿ë
1.Áö¿ø µ¿±â
°øÁ¤ °³¹ß ºÐ¾ß¿¡¼ÀÇ °æ·Â°ú ¿Á¤À» ¹ÙÅÁÀ¸·Î ¿øÀ;ÆÀÌÇÇ¿¡½ºÀÇ ½ÅÁ¦Ç° °øÁ¤ °³¹ßÆÀ¿¡ Áö¿øÇÏ°Ô µÇ¾ú½À´Ï´Ù. ¹ÝµµÃ¼ »ê¾÷ÀÇ Çõ½Å°ú Áøº¸¿¡ ±â¿©ÇϰíÀÚ ÇÏ´Â ¿¸ÁÀÌ Àú¸¦ ÀÌ ±æ·Î À̲ø¾ú½À´Ï´Ù. ¿øÀ;ÆÀÌÇÇ¿¡½ºÀÇ °æ¿ì, Á¤¹Ð¼º°ú Çõ½ÅÀ» Áß½ÃÇÏ´Â ±â¾÷À¸·Î, ÀÌ·¯ÇÑ °¡Ä¡´Â Á¦ °æ·Â ¸ñÇ¥¿Í ¿Ïº®ÇÏ°Ô ÀÏÄ¡ÇÕ´Ï´Ù. ´ëÇп¡¼ ÈÇаøÇÐÀ» Àü°øÇÏ¸é¼ ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶ °øÁ¤¿¡ ´ëÇÑ ±íÀº ÀÌÇØ¸¦ ½×¾Ò°í, À̸¦ ÅëÇØ ´Ù¾çÇÑ °øÁ¤ ¾àÁ¡À» ºÐ¼®ÇÏ°í °³¼± ¹æ¾ÈÀ» ¸ð»öÇÏ´Â °æÇèÀ» ¾ò¾ú½À´Ï´Ù. ÀÌ·¯ÇÑ °æÇèÀº ¹®Á¦ ÇØ°á ´É·ÂÀ» ÇÔ¾çÇÏ´Â µ¥ Å« µµ¿òÀ» ÁÖ¾úÀ¸¸ç, ÆÀ ÇÁ·ÎÁ§Æ®¸¦ ÅëÇØ Çù¾÷ÀÇ Á߿伺À» ±ú´Ý°Ô µÇ¾ú½À´Ï´Ù. ÆÀ¿øµé°úÀÇ ±ä¹ÐÇÑ Çù·ÂÀº º¹ÀâÇÑ ¹®Á¦¸¦ ÇØ°áÇÏ°í ´õ ³ªÀº °á°ú¸¦ µµÃâÇÏ´Â µ¥ ÇʼöÀûÀ̶ó´Â °ÍÀ» ¸ö¼Ò ´À²¼½À´Ï´Ù. ´ëÇÐ Á¹¾÷ ÈÄ¿¡´Â ÇÑ ¹ÝµµÃ¼ Àåºñ ȸ»ç¿¡¼ °øÁ¤ °³¹ß ¿£Áö´Ï¾î·Î ±Ù¹«Çϸç, ´Ù¾çÇÑ ALD(Atomic Layer Deposition) ±â¼úÀ» Ȱ¿ëÇÑ °øÁ¤ ÃÖÀûÈ ÀÛ¾÷À» ¼öÇàÇÏ¿´½À´Ï´Ù. ÀÌ °úÁ¤¿¡¼ ¿©·¯ ½ÇÇèÀ» ÅëÇØ °øÁ¤ º¯¼ö¸¦ Á¶ÀýÇϰí, ¿øÇÏ´Â °á°ú¸¦ ¾ò±â À§ÇÑ ¼¼¹ÐÇÑ Á¶Á¤ ÀÛ¾÷À» ÁøÇàÇÏ¿´½À´Ï´Ù. ÀÌ °æÇèÀ» ÅëÇØ ALD ±â¼úÀÇ ÁøÁ¤ÇÑ °¡´É¼ºÀ» ½Ç°¨ÇÏ¿´¡¦(»ý·«)