º»¹®/³»¿ë
1.Áö¿ø µ¿±â
¿øÀ;ÆÀÌÇÇ¿¡½º¿¡ Áö¿øÇÏ°Ô µÈ ÀÌÀ¯´Â ¹ÝµµÃ¼ »ê¾÷ÀÇ Çõ½Å°ú ¹ßÀü¿¡ ±â¿©ÇϰíÀÚ ÇÏ´Â ¿¸Á¿¡¼ ºñ·ÔµË´Ï´Ù. ¹ÝµµÃ¼´Â Çö´ë ±â¼úÀÇ ÇÙ½ÉÀ̸ç, ±× ¹ßÀüÀÌ °¡Á®¿À´Â ¿µÇâÀ» ¸ÅÀÏ Ã¼°¨Çϰí ÀÖ½À´Ï´Ù. ƯÈ÷ ¿øÀ;ÆÀÌÇÇ¿¡½ºÀÇ ALE(ALD) °øÁ¤ °³¹ß ºÐ¾ß´Â ÷´Ü ±â¼úÀÇ Áý¾àü·Î, Çõ½ÅÀûÀÎ ¼Ö·ç¼ÇÀ» ÅëÇØ ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶ °øÁ¤ÀÇ È¿À²¼ºÀ» ±Ø´ëÈÇÒ ¼ö ÀÖ´Â °¡´É¼ºÀ» °¡Áö°í ÀÖ½À´Ï´Ù. ÀÌ·¯ÇÑ ºÐ¾ß¿¡¼ Á¦ Áö½ÄÀ» Ȱ¿ëÇϰí, ½ÇÁ¦·Î ±â¼ú·ÂÀ» ¹ßÀü½ÃŰ´Â µ¥ ±â¿©ÇÏ°í ½Í½À´Ï´Ù. ÇÐâ ½ÃÀýºÎÅÍ °øÇÐ ºÐ¾ß¿¡ ´ëÇÑ ±íÀº °ü½ÉÀ» °¡Áö°í ´Ù¾çÇÑ ÇÁ·ÎÁ§Æ®¿¡ Âü¿©ÇÏ¿´½À´Ï´Ù. ƯÈ÷, ÈÇÐ °øÁ¤°ú °ü·ÃµÈ °ú¸ñ¿¡¼ÀÇ ÇнÀ°ú ½ÇÇèÀ» ÅëÇØ ÀÌ·ÐÀ» ½ÇÁ¦¿¡ Àû¿ëÇÏ´Â °æÇèÀ» ½×¾Ò½À´Ï´Ù. °øÁ¤ °³¹ßÀÇ Á߿伺À» ±ú´Ý°í, ¿Ã¹Ù¸¥ ±â¼úÀÌ ¾î¶»°Ô È¿À²¼ºÀ» ±Ø´ëÈÇÏ°í ¹®Á¦ ÇØ°á¿¡ ±â¿©ÇÒ ¼ö ÀÖ´ÂÁö¸¦ ¹è¿ü½À´Ï´Ù. ÀÌ·¯ÇÑ °æÇèÀº Àú¿¡°Ô ALE¿Í ALD ±â¼ú¿¡ ´ëÇÑ ´õ ±íÀº ÀÌÇØ¸¦ Á¦°øÇÏ¿´°í, À̸¦ ¹ÙÅÁÀ¸·Î ¿øÀ;ÆÀÌÇÇ¿¡½º¿¡¼ÀÇ °øÁ¤ °³¹ß¿¡ Âü¿©ÇÏ°í ½Í´Ù´Â ¿¸ÁÀ» °®°Ô µÇ¾ú½À´Ï´Ù. ¿øÀ;ÆÀÌÇÇ¿¡½º´Â ¼¼°èÀûÀ¸·Î ÀÎÁ¤¹Þ´Â ±â¾÷À¸·Î, Áö¼ÓÀûÀÎ ±â¼ú °³¹ß°ú Çõ½ÅÀ» ÅëÇØ ¾÷°è¸¦ ¼±µµÇϰí ÀÖ½À´Ï´Ù¡¦(»ý·«)